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1. (WO2007092442) SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING AND DELIVERING VAPOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/092442    International Application No.:    PCT/US2007/003143
Publication Date: 16.08.2007 International Filing Date: 07.02.2007
Chapter 2 Demand Filed:    07.12.2007    
IPC:
C23C 16/00 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: CELERITY, INC. [US/US]; 200-C Parker Drive, Suite 600, Austin, TX 78728 (US) (For All Designated States Except US).
BUCHANAN, Daryl [US/US]; (US) (For US Only).
TARIQ, Faisal [PK/US]; (US) (For US Only).
MEI, Hai [US/US]; (US) (For US Only).
TISON, Stuart [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BUCHANAN, Daryl; (US).
TARIQ, Faisal; (US).
MEI, Hai; (US).
TISON, Stuart; (US)
Agent: SCHEINBERG, Michael, O.; SCHEINBERG & GRINER LLP, PO BOX 164140, AUSTIN, TX 78716-4140 (US)
Priority Data:
11/349,068 07.02.2006 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING AND DELIVERING VAPOR
(FR) SYSTEME ET PROCEDE POUR PRODUIRE ET FOURNIR DE LA VAPEUR
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods for producing and delivering vapor are disclosed. A vaporizer tank containing a liquid may be heated such that liquid within the tank is heated and vapor generated. The flow of this vapor to a destination may then be regulated. Embodiments of the present invention may control the temperature of this liquid such that a saturated vapor condition is substantially maintained in the vaporizer tank. The vaporizer tank is coupled to a mass flow controller which regulates the delivery of the vapor to downstream components. By substantially maintaining the saturated vapor condition within the vaporizer tank the pressure of vapor at the mass flow controller can be substantially maintained and a stable and consistent flow rate of vapor achieved.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés pour produire et fournir de la vapeur Un réservoir de vaporisation contenant un liquide peut être chauffé de sorte que le liquide contenu dans le réservoir soit chauffé et que de la vapeur soit générée. Il est alors possible de réguler le flux de cette vapeur vers une destination. Des modes de réalisation de la présente invention peuvent contrôler la température de ce liquide de sorte qu'une condition de vapeur saturée soit sensiblement maintenue dans le réservoir de vaporisation. Le réservoir de vaporisation est couplé à un régulateur de débit massique qui régule la livraison de la vapeur vers des composants en aval. En maintenant sensiblement la condition de vapeur saturée dans le réservoir de vaporisation, il est possible de maintenir sensiblement la pression de vapeur au niveau du régulateur de débit massique et d'obtenir une vitesse stable et constante d'écoulement de la vapeur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)