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1. (WO2007091196) A SEMICONDUCTOR PROCESS SYSTEM HAVING AN OPTICAL INSTRUMENT COMPRISING AN APPARATUS FOR ALIGNING AN OPTICAL DEVICE WITH AN OBJECT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/091196    International Application No.:    PCT/IB2007/050339
Publication Date: 16.08.2007 International Filing Date: 01.02.2007
IPC:
H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H05K 13/04 (2006.01), G02B 21/36 (2006.01), G02B 21/24 (2006.01), F16C 11/04 (2006.01), F16C 11/10 (2006.01), F16M 11/12 (2006.01), F16M 11/18 (2006.01)
Applicants: NXP B.V. [NL/NL]; High Tech Campus 60, NL-5656 AG Eindhoven (NL) (For All Designated States Except US).
VIANEN, Job [NL/NL]; (GB) (For US Only).
STOKKERMANS, Jozef, P., W. [NL/NL]; (GB) (For US Only)
Inventors: VIANEN, Job; (GB).
STOKKERMANS, Jozef, P., W.; (GB)
Agent: WHITE, Andrew, G.; c/o NXP Semiconductors, IP Department, Cross Oak Lane, Redhill Surrey RH1 5HA (GB)
Priority Data:
06101552.5 10.02.2006 EP
Title (EN) A SEMICONDUCTOR PROCESS SYSTEM HAVING AN OPTICAL INSTRUMENT COMPRISING AN APPARATUS FOR ALIGNING AN OPTICAL DEVICE WITH AN OBJECT
(FR) APPAREIL POUR ALIGNER UN DISPOSITIF OPTIQUE ET UN OBJET, INSTRUMENT OPTIQUE ET SYSTÈME DE TRAITEMENT A SEMI-CONDUCTEUR
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to an apparatus (10) for aligning an optical device with an object. The apparatus comprises, a frame (12), a support unit (16) for supporting said optical device or said object and a transportation device (14) arranged to at least tilt the support unit in relation to the frame, wherein a segment of a sphere (18, 22) is provided, which segment defines a spherical surface (20), and the tilting movement of the support unit is controlled by said spherical surface. The apparatus according to the invention allows for a tilting movement between said optical device and said object, while such movement does not lead to a shift in focus. Furthermore the invention relates to an optical instrument and a semiconductor process system comprising said apparatus.
(FR)La présente invention concerne un appareil (10) pour aligner un dispositif optique et un objet. L'appareil comprend un cadre (12); une unité de soutien (16) pour soutenir un dispositif optique ou un objet; et un dispositif de transport (14) disposé pour au moins incliner l'unité de soutien par rapport au cadre. L'appareil est caractérisé en ce qu'il présente un segment de sphère (18, 22), lequel segment délimite une surface sphérique (20), et en ce que le mouvement d'inclinaison de l'unité de soutien est commandé par ladite surface sphérique. L'appareil selon l'invention permet un mouvement d'inclinaison entre un dispositif optique et un objet, tandis qu'un tel mouvement ne conduit pas à un décalage dans la mise au point. L'invention concerne en outre un instrument optique et un système de traitement à semi-conducteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)