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1. (WO2007090828) PRODUCTION OF CAVITIES THAT CAN BE FILLED WITH A FLUID MATERIAL IN AN OPTICAL MICROTECHNOLOGICAL COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/090828    International Application No.:    PCT/EP2007/051109
Publication Date: 16.08.2007 International Filing Date: 06.02.2007
IPC:
G02B 5/20 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01)
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE [FR/FR]; 25 rue Leblanc, Immeuble "Le Ponant D", F-75015 Paris (FR) (For All Designated States Except US).
SOURIAU, Jean-Charles [FR/FR]; (FR) (For US Only).
SILLON, Nicolas [FR/FR]; (FR) (For US Only).
JOLY, Jean-Pierre [FR/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: SOURIAU, Jean-Charles; (FR).
SILLON, Nicolas; (FR).
JOLY, Jean-Pierre; (FR)
Agent: POULIN, Gérard; Brevatome, 3, rue du Docteur Lancereaux, F-75008 Paris (FR)
Priority Data:
06 50466 09.02.2006 FR
Title (EN) PRODUCTION OF CAVITIES THAT CAN BE FILLED WITH A FLUID MATERIAL IN AN OPTICAL MICROTECHNOLOGICAL COMPONENT
(FR) RÉALISATION DE CAVITÉS POUVANT ÊTRE REMPLIES PAR UN MATÉRIAU FLUIDIQUE DANS UN COMPOSÉ MICROTECHNOLOGIQUE OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)A novel method for producing cavities intended to contain a liquid having specified optical properties within a film for optical usage. The walls (38) of the cavities (40) are produced by plasma-etching a layer (30, 34) of transparent or light-absorbent material attached to a microtechnological substrate, the walls (38) having a structured profile so as limit parasitic light-scattering and light-diffraction effects.
(FR)Un nouveau procédé permet de réaliser des cavités destinées à contenir un liquide de propriétés optiques déterminées au sein d'un film à usage optique. Les parois (38) des cavités (40) sont réalisées par gravure plasma d'une couche de matériau transparent ou absorbant la lumière (30, 34) rapportée sur un substrat microtechnologique, les parois (38) présentant un profil structuré afin de limiter les phénomènes parasites de diffusion et diffraction de la lumière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)