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1. (WO2007089374) METHOD AND APPARATUS FOR HANDLING AND ALIGNING GLASS SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/089374    International Application No.:    PCT/US2006/062515
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 21.12.2006
IPC:
C23F 1/00 (2006.01)
Applicants: PHOTON DYNAMICS, INC. [US/US]; 5970 Optical Court, San Jose, California 95138 (US) (For All Designated States Except US).
HUH, Jun, Young [US/US]; (US) (For US Only).
PARK, Sung, Tae [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: HUH, Jun, Young; (US).
PARK, Sung, Tae; (KR)
Agent: LARGENT, Craig, C.; Townsend And Townsend And Crew Llp, Two Embarcadero Center, 8th Floor, San Francisco, California 94111-3834 (US)
Priority Data:
60/753,917 22.12.2005 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR HANDLING AND ALIGNING GLASS SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MANIPULATION ET D'ALIGNEMENT DE SUBSTRATS EN VERRE
Abstract: front page image
(EN)A chuck adapted to support a substrate includes an array of glass bars spaced apart and each having a number of holes in its supporting surface. The holes in the supporting surfaces are connected to a common conduit that is supplied with air to provide an air cushion to support the substrate during loading and positioning operations. Scrubbers in contact with one or more edges of the substrate are used to locate the substrate precisely relative to a mechanical reference. After the substrate is positioned at the desired location, the common conduit is separately supplied with vacuum to provide a suction force to hold the substrate to the chuck. The array of glass bars are designed to operate in conjunction with a multi-light backlight system that provides uniform illumination for areas of the substrate that are supported above a glass bar as well as for areas of the substrate that are positioned between the glass bars.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de manipulation et d'alignement de substrats en verre. Un support permettant de porter un substrat comprend un réseau de barres de verre espacées présentant respectivement un certain nombre de trous dans leur surface d'appui. Les trous réalisés dans les surfaces d'appui sont raccordés à un conduit commun qui est alimenté en air pour délivrer un coussin d'air permettant de soutenir le substrat pendant les opérations de chargement et de positionnement. Des éléments de positionnement en contact avec au moins un bord du substrat permettent de positionner le substrat avec précision par rapport à une référence mécanique. Une fois le substrat installé à la position souhaitée, le conduit commun est alimenté séparément en dépression pour fournir une force d'aspiration afin de maintenir le substrat sur le support. Le réseau de barres de verre est conçu pour fonctionner conjointement avec un système de rétro-éclairage multi-lumière qui fournit un éclairage uniforme aux zones du substrat qui sont portées au-dessus d'une barre de verre ainsi qu'aux zones du substrat positionnées entre les barres de verre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)