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1. (WO2007088936) GAS FLOW TRANSPORTATION DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/088936    International Application No.:    PCT/JP2007/051712
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 01.02.2007
IPC:
B65G 51/03 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: Hirata Corporation [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku Tokyo 1420041 (JP) (For All Designated States Except US).
KAWAHARA, Akihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKAMURA, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAGUCHI, Eiichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MATSUNARI, Shinichi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KAWAHARA, Akihiko; (JP).
NAKAMURA, Shinji; (JP).
TAGUCHI, Eiichi; (JP).
MATSUNARI, Shinichi; (JP)
Agent: AIKAWA, Toshihiko; Nakano Bldg. #3 12-5, Minami Ikebukuro 2-chome Toshima-ku Tokyo 1710022 (JP)
Priority Data:
PCT/JP2006/301698 01.02.2006 JP
Title (EN) GAS FLOW TRANSPORTATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT PAR FLUX DE GAZ
(JA) 気流搬送装置
Abstract: front page image
(EN)Provided are a gas flow transportation device that sufficiently floats a plate-like object by a low-pressure gas flow or a small amount of gas flow and stabilizes the posture of the object, and nozzle plate that is used for the gas flow transportation device. The gas flow transportation device floats a plate-like object by gas ejected from inclined ejection holes and transports the object in a predetermined direction without contact. The nozzle plate used for the device has the inclined ejection holes and a flat section to which the plate-like object is closely positioned. A panel plate forms, along with the flat surface, a transportation surface of the gas flow transportation device, and the upper surface of the panel plate is at the same height as the flat section. The nozzle plate of the transportation surface keeps a first gap from the object in the direction of transportation of the object and a second gap from the object in the direction substantially normal to the transportation direction.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de transport par flux de gaz qui permet à un objet de type plaque de flotter suffisamment à l'aide d'un flux de gaz à basse pression ou d'une petite quantité de flux de gaz et stabilise la posture de l'objet, ainsi qu'une plaque à buse utilisée avec le dispositif de transport par flux de gaz. Le dispositif de transport par flux de gaz permet à un objet de type plaque de flotter à l'aide du gaz projeté à partir d'orifices de projection inclinés et transporte l'objet dans une direction prédéterminée sans contact. La plaque à buse utilisée dans le dispositif comprend les orifices de projection inclinés et une section plane sur laquelle l'objet de type plaque est positionné de manière rapprochée. Un panneau forme, avec la surface plane, une surface de transport du dispositif de transport par flux de gaz, et la surface supérieure du panneau se trouve à la même hauteur que la section plane. La plaque à buse de la surface de transport maintient un premier espace entre elle et l'objet dans la direction de transport de l'objet et un second espace entre elle et l'objet dans la direction sensiblement perpendiculaire à la direction de transport.
(JA) 低圧若しくは少量の気流で十分に板状物を浮上させて、その姿勢を安定化させる気流搬送装置及びその気流搬送装置に用いられるノズル板を提供する。複数の傾斜噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送させる気流搬送装置において、該装置に用いられるノズル板が、前記複数の傾斜噴射孔と、前記板状物が近接する平坦部とを備える。一方、該平坦部と同等の高さの位置に上面を備えるパネル板は、前記平坦部とともに該気流搬送装置の搬送面を構成する。該搬送面のノズル板は、該板状物の搬送方向に第1の間隔を、該搬送方向に実質的に直行する方向に第2の間隔を隔てることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)