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1. (WO2007088817) LIGHT SOURCE DEVICE, SUBSTRATE TREATING DEVICE, AND SUBSTRATE TREATING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/088817    International Application No.:    PCT/JP2007/051406
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 29.01.2007
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
OSHIMA, Yasuhiro [JP/US]; (US) (For US Only).
TAKAHASHI, Nobuaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OSHIMA, Yasuhiro; (US).
TAKAHASHI, Nobuaki; (JP)
Agent: ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower, 20-3, Ebisu4-Chome, Shibuya-Ku, Tokyo1506032 (JP)
Priority Data:
2006-023283 31.01.2006 JP
Title (EN) LIGHT SOURCE DEVICE, SUBSTRATE TREATING DEVICE, AND SUBSTRATE TREATING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE SOURCE DE LUMIERE, DISPOSITIF ET PROCEDE DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 光源装置、基板処理装置、基板処理方法
Abstract: front page image
(EN)A light source device is formed by a plasma formation chamber including a plasma formation region where plasma is formed by electrodeless discharge to generate light and an optical window defining the lower end of the plasma region in the plasma formation chamber and transmitting the light. A micro wave transmitting window is formed in the plasma chamber for introducing a micro wave for generating the plasma. Furthermore, outside of the micro wave transmitting window, a micro wave antenna is connected to the micro wave window for introducing the micro wave.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de source de lumière, formé par une chambre de formation de plasma qui comprend une région de formation de plasma où le plasma est formé par une décharge sans électrode afin de générer de la lumière et une fenêtre optique définissant l'extrémité inférieure de la région de plasma dans la chambre de formation de plasma et transmettant la lumière. Une fenêtre de transmission de micro-ondes est formée dans la chambre de plasma pour introduire une micro-onde afin de générer le plasma. De plus, en dehors de la fenêtre de transmission de micro-ondes, une antenne à micro-ondes est raccordée à la fenêtre à micro-ondes pour introduire la micro-onde.
(JA) 光源装置は、プラズマ形成領域を含み、前記プラズマ形成領域において無電極放電によりプラズマを形成して発光を生成するプラズマ形成室と、前記プラズマ形成室中におけるプラズマ領域の下端を画成し、前記発光を透過する光学窓とよりなり、前記プラズマ形成室内には、前記プラズマを生成するためのマイクロ波を導入するマイクロ波透過窓が形成されており、さらに前記マイクロ波透過窓の外側には、前記マイクロ波窓に結合し、前記マイクロ波を導入するマイクロ波アンテナが設けられている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)