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Pub. No.:    WO/2007/088696    International Application No.:    PCT/JP2006/326197
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 28.12.2006
H03H 9/17 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/187 (2006.01)
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (For All Designated States Except US).
MIYAKE, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MIYAKE, Takashi; (JP)
Agent: MIYAZAKI, Chikara; 6F, Daido Seimei Bldg. 5-4, Tanimachi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5400012 (JP)
Priority Data:
2006-023407 31.01.2006 JP
2006-148137 29.05.2006 JP
(JA) 圧電振動装置
Abstract: front page image
(EN)A piezoelectric oscillator (1) utilizing an outline oscillation mode and having such a structure that a variation in resonance characteristics due to the thickness of an oscillatory portion is not likely to occur and the yield can be enhanced. A piezoelectric oscillatory portion (3) where first and second electrodes (5, 6) are formed on the first and second major surfaces of a piezoelectric thin film (4) as a filmlike or planar piezoelectric is arranged while being floated above a substrate (2) constituting a portion of a supporting member with a gap (D) between them, and resonance characteristics are obtained at the oscillatory portion (3) by utilizing a spread oscillation mode out of the outline oscillation mode.
(FR)L'invention concerne un oscillateur piézoélectrique (1) utilisant un mode d'oscillation général et présentant une structure telle qu'une variation des caractéristiques de résonance due à l'épaisseur d'une partie oscillatoire est improbable, et que le rendement peut être amélioré. Une partie oscillatoire piézoélectrique (3), où des première et seconde électrodes (5, 6) sont formées sur les première et seconde surfaces principales d'un film mince piézoélectrique (4) en tant que piézoélectrique de type film ou plan, est disposée tout en étant mise à flotter par-dessus un substrat (2) constituant une partie d'un élément de support, un intervalle (D) étant prévu entre eux, et des caractéristiques de résonance sont obtenues au niveau de la partie oscillatoire (3) en utilisant un mode d'oscillation à dispersion à partir du mode d'oscillation général.
(JA) 輪郭振動モードを利用しており、振動部の厚みによる共振特性等のばらつきが生じ難く、歩留りを高めることが可能な構造を有する圧電振動装置を提供する。  フィルム状または板状の圧電体としての圧電薄膜4の第1,第2の主面に第1,第2の電極5,6が積層されている圧電振動部3が支持部材の一部を構成している基板2からギャップDを隔てて浮かされた状態で配置されており、振動部3において、輪郭振動モードのうちの拡がり振動モードを利用して共振特性が得られている、圧電振動装置1。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)