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1. (WO2007088182) PULSED CHEMICAL DISPENSE SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/088182    International Application No.:    PCT/EP2007/050965
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 01.02.2007
IPC:
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (For All Designated States Except US).
DUBREUIL, Olivier [FR/FR]; (FR) (For US Only).
KORDIC, Srdjan [NL/FR]; (FR) (For US Only).
CARAMBERIS, Theodore [US/FR]; (FR) (For US Only)
Inventors: DUBREUIL, Olivier; (FR).
KORDIC, Srdjan; (FR).
CARAMBERIS, Theodore; (FR)
Agent: EISENFÜHR, SPEISER & PARTNER; Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2, 10178 Berlin (DE)
Priority Data:
06300098.8 01.02.2006 EP
Title (EN) PULSED CHEMICAL DISPENSE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE DISTRIBUTION DE PRODUITS CHIMIQUES À IMPULSIONS
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a cost saving liquid-treatment unit (100). According to the invention, a control unit (152), which is connected to an input port of a control valve (118, 120, 122), is adapted to set, in dependence on the evaporation rate of a treatment liquid on the substrate at the given or desired temperature of the substrate and/or at the given or desired pressure of a gaseous ambient atmosphere at the substrate, a number of dispense pulses to be applied to the substrate for the liquid treatment, a respective pulse duration of individual dispense pulses, and respective dispense-interruption time spans between the individual dispense pulses. This way, the use of treatment liquid is reduced to a minimum amount, thus reducing costs for providing and cleaning treatment liquid.
(FR)La présente invention concerne une unité économique de traitement de liquide (100). Selon l'invention, une unité de commande (152), qui est connectée à un orifice d'entrée d'une soupape de commande (118, 120, 122), est apte à l'établissement d'une pluralité d'impulsion de distribution à appliquer au substrat pour le traitement de liquide, d'une durée d'impulsion respective d'impulsions de distribution individuelles, et de laps de temps respectifs d'interruptions de distribution entre les impulsions de distribution en fonction d'un taux d'évaporation d'un liquide de traitement sur le substrat à la température donnée ou souhaitée du substrat et/ou à la pression donnée ou souhaitée d'une atmosphère ambiante gazeuse au niveau du substrat. Ainsi, l'utilisation du liquide de traitement est réduit à une quantité minimale, réduisant ainsi les coûts de fourniture et de nettoyage de liquide de traitement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)