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1. (WO2007088018) MINIATURIZED SPRING ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING THE LATTER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/088018    International Application No.:    PCT/EP2007/000738
Publication Date: 09.08.2007 International Filing Date: 29.01.2007
Chapter 2 Demand Filed:    30.11.2007    
IPC:
G01N 27/00 (2006.01), G01N 27/12 (2006.01), G01Q 10/00 (2010.01), G01Q 20/04 (2010.01), G01Q 60/24 (2010.01), G01Q 60/38 (2010.01), G01Q 70/16 (2010.01)
Applicants: NANOSCALE SYSTEMS, NANOSS GMBH [DE/DE]; Robert-Bosch-Str. 7, 64293 Darmstadt (DE) (For All Designated States Except US).
JOHANN WOLFGANG GOETHE-UNIVERSITÄT [DE/DE]; Senckenberganlage 31, 60325 Frankfurt (DE) (For All Designated States Except US).
KAYA, Alexander [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HUTH, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KAYA, Alexander; (DE).
HUTH, Michael; (DE)
Agent: TERGAU & POHL; Eschersheimer Landstr. 105-107, 60322 Frankfurt (DE)
Priority Data:
10 2006 004 922.5 01.02.2006 DE
Title (DE) MINIATURISIERTES FEDERELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
(EN) MINIATURIZED SPRING ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING THE LATTER
(FR) ELEMENT ELASTIQUE MINIATURISE ET PROCEDE POUR SA FABRICATION
Abstract: front page image
(DE)Ein miniaturisiertes Federelement (1, 1') soll in besonderem Maße zum Einsatz als Balkensonde oder Cantilever (2) für die Erfassung von atomaren oder molekularen Kräften, insbesondere in einem Rasterkraftmikroskop (22), geeignet sein und dazu eine besonders zuverlässige und hochauflösende Erfassung seiner Auslenkung ermöglichen. Dazu umfasst das Federelement (1, 1 ') erfindungsgemäß einen Grundkörper (4), der aus einer Matrix mit eingebetteten Nanopartikeln (14) oder Störstellen gebildet ist. Das Federelement (1, 1 ') wird unter Verwendung des Prinzips der lokalen Deposition mit fokussierten energetischen Teilchen oder elektromagnetischen Wellen oder durch pyrolytisch induzierte Deposition hergestellt.
(EN)A miniaturized spring element (1, 1') is intended to be particularly suitable for use as a beam probe or cantilever (2) for detecting atomic or molecular forces, in particular in an atomic force microscope (22), and, to this end, is intended to make it possible to detect its deflection in a particularly reliable manner and with high resolution. For this purpose, according to the invention, the spring element (1, 1') comprises a basic body (4) which is formed from a matrix containing embedded nanoparticles (14) or defects. The spring element (1, 1') is produced using the principle of local deposition with focussed energetic particles or electromagnetic waves or by pyrolytically induced deposition.
(FR)L'invention concerne un élément élastique miniaturisé (1, 1') destiné en particulier à être utilisé comme sonde en poutre ou porte-à-faux (2) pour la détection de forces atomiques ou moléculaires, en particulier dans un microscope à balayage (22), et qui permet alors une détection particulièrement fiable et à résolution particulièrement élevée de ses déviations. Dans ce but, l'élément élastique (1, 1') comprend selon l'invention un corps de base (4) constitué d'une matrice dans laquelle des nanoparticules (14) ou des défauts sont incorporés. L'élément élastique (1, 1') est fabriqué en recourant au principe du dépôt local de particules énergétiques concentrées, d'ondes électromagnétiques ou du dépôt induit par pyrolyse.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)