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1. (WO2007087399) EPOXY FORMULATIONS FOR USE IN LITHOGRAPHY TECHNIQUES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/087399    International Application No.:    PCT/US2007/002034
Publication Date: 02.08.2007 International Filing Date: 23.01.2007
Chapter 2 Demand Filed:    15.08.2007    
IPC:
C08G 59/22 (2006.01), C08G 59/38 (2006.01), C08G 59/68 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01), B29C 35/08 (2006.01), G03F 7/038 (2006.01)
Applicants: DOW CORNING CORPORATION [US/US]; 2200 West Salzburg Road, Midland, MI 48686-0994 (US) (For All Designated States Except US).
CHEN, Wei [CN/US]; (US) (For US Only).
HARKNESS, Brian, Robert [CA/US]; (US) (For US Only).
MAGHSOODI, Sina [US/US]; (US) (For US Only).
TONGE, James, Steven [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CHEN, Wei; (US).
HARKNESS, Brian, Robert; (US).
MAGHSOODI, Sina; (US).
TONGE, James, Steven; (US)
Common
Representative:
DOW CORNING CORPORATION; BROWN, Catherine, U., 2200 West Salzburg Road, Midland, MI 48686-0994 (US)
Priority Data:
60/762,185 25.01.2006 US
Title (EN) EPOXY FORMULATIONS FOR USE IN LITHOGRAPHY TECHNIQUES
(FR) FORMULATIONS DE RÉSINE ÉPOXYDE À UTILISER DANS DES TECHNIQUES DE LITHOGRAPHIE
Abstract: front page image
(EN)A method for preparing a patterned feature includes the steps of I) casting a curable silicone composition against a master, II) curing the curable silicone composition to form a silicone mold, II) separating the master and the silicone mold, IV) filling a silicone mold having a patterned surface with a curable epoxy formulation; V) curing the curable epoxy formulation to form a patterned feature; VI) separating the silicone mold and the patterned feature; optionally VIII) etching the patterned feature; optionally IX) cleaning the silicone mold; and optionally X) repeating steps IV) to IX) reusing the silicone mold.
(FR)L'invention concerne un procédé pour préparer un élément à motif qui consiste I) à faire couler une composition de silicone durcissable sur un modèle, II) à faire durcir la composition de silicone durcissable pour former un moule de silicone, II) à séparer le modèle du moule de silicone, IV) à remplir un moule de silicone présentant une surface à motif avec une formulation de résine époxyde durcissable, V) à faire durcir cette formulation de résine époxyde durcissable pour former un élément à motif, VI) à séparer le moule de silicone de l'élément à motif, éventuellement VIII) à graver l'élément à motif, éventuellement IX) à nettoyer le moule de silicone et éventuellement X) à répéter les étapes IV) à IX) en réutilisant ce moule de silicone.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)