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1. (WO2007087209) METHODS AND APPARATUS FOR ION BEAM ANGLE MEASUREMENT IN TWO DIMENSIONS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/087209    International Application No.:    PCT/US2007/001204
Publication Date: 02.08.2007 International Filing Date: 17.01.2007
IPC:
H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/304 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US) (For All Designated States Except US).
CUMMINGS, James J. [US/US]; (US) (For US Only).
OLSON, Joseph [US/US]; (US) (For US Only).
CLOUGH, Arthur H. [US/US]; (US) (For US Only).
HERMANSON, Eric [US/US]; (US) (For US Only).
MOLLICA, Rosario [UY/US]; (US) (For US Only).
MURPHY, Paul J. [US/US]; (US) (For US Only).
DONAHUE, Mark [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CUMMINGS, James J.; (US).
OLSON, Joseph; (US).
CLOUGH, Arthur H.; (US).
HERMANSON, Eric; (US).
MOLLICA, Rosario; (US).
MURPHY, Paul J.; (US).
DONAHUE, Mark; (US)
Agent: FABER, Scott R.; VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC., 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930-2297 (US)
Priority Data:
11/336,466 20.01.2006 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUS FOR ION BEAM ANGLE MEASUREMENT IN TWO DIMENSIONS
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR LA MESURE D'ANGLE DE FAISCEAU IONIQUE EN DEUX DIMENSIONS
Abstract: front page image
(EN)An angle measurement system (100) for an ion beam includes a flag (120) defining first (140) and second features (142), wherein the second feature has a variable spacing from the first feature, a mechanism (122) to translate the flag along a translation path so that the flag intercepts at least a portion of the ion beam (62), and a sensing device (123, 124) to detect the ion beam for different flag positions along the translation path and produce a sensor signal in response to the detected ion beam. The sensor signal and corresponding positions of the flag are representative of a vertical beam angle of the ion beam in a vertical plane. The sensing device may include a mask and a mechanism to translate the mask in order to define a beam current sensor on a portion of an associated Faraday sensor.
(FR)Selon l'invention, un système de mesure d'angle (100) pour faisceau ionique comprend un drapeau (120) définissant une première (140) et une seconde (142) caractéristique, la seconde caractéristique présentant un espacement variable à partir de la première caractéristique, un système (122) servant à translater le drapeau le long d'une voie de translation, de manière que le drapeau intercepte au moins une partie du faisceau ionique (62), et un dispositif de détection (123, 124) conçu pour détecter le faisceau ionique à différents emplacements du drapeau le long de ladite voie et produire un signal de détecteur en réponse au faisceau ionique détecté. Ce signal de détecteur et les emplacements correspondants du drapeau sont représentatifs d'un angle de faisceau vertical du faisceau ionique dans un plan vertical. Le dispositif de détection peut comporter un masque et un système servant à translater le masque en vue de définir un détecteur actuel de faisceau sur une partie d'un capteur à effet Faraday.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)