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1. WO2007086960 - COMPENSATION FOR THERMAL SIPHONING IN MASS FLOW CONTROLLERS

Publication Number WO/2007/086960
Publication Date 02.08.2007
International Application No. PCT/US2006/041153
International Filing Date 19.10.2006
IPC
G05D 7/06 2006.01
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
CPC
G05D 7/0635
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
7Control of flow
06characterised by the use of electric means
0617specially adapted for fluid materials
0629characterised by the type of regulator means
0635by action on throttling means
Applicants
  • MKS Instruments, Inc. (AllExceptUS)
  • JUNHUA, Ding [CN]/[US] (UsOnly)
  • L'BASSI, Michael [US]/[US] (UsOnly)
  • ZARKAR, Kaveh, H. [US]/[US] (UsOnly)
Inventors
  • JUNHUA, Ding
  • L'BASSI, Michael
  • ZARKAR, Kaveh, H.
Agents
  • KIM, Elizabeth, E.
Priority Data
11/340,26026.01.2006US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) COMPENSATION FOR THERMAL SIPHONING IN MASS FLOW CONTROLLERS
(FR) COMPENSATION DU SIPHONNAGE THERMIQUE DANS DES RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE
Abstract
(EN)
A thermal mass flow controller for controlling flow rate of a fluid includes a conduit configured to receive the fluid, a pressure sensor that measures the pressure of the fluid as the fluid flows within the conduit, a temperature sensor that measures the ambient temperature of the fluid, and a thermal sensor that generates an output representative of the flow rate of the fluid. The thermal mass flow controller further includes a control system configured to monitor the output from the thermal sensor, the pressure measured by the pressure sensor, and the ambient temperature measured by the temperature sensor, to regulate flow of the fluid within the conduit so as to compensate for a shift in the thermal sensor output caused by thermal siphoning.
(FR)
L'invention concerne un régulateur de débit massique thermique servant à réguler le débit d'un fluide, qui comprend: un tuyau destiné à recevoir le fluide, un capteur de pression qui mesure la pression du fluide s'écoulant dans le tuyau, un capteur de température qui mesure la température ambiante du fluide et un capteur thermique qui produit un signal de sortie représentant le débit du fluide. Le régulateur de débit massique thermique comprend de plus un système de commande conçu pour surveiller le signal de sortie provenant du capteur thermique, la pression mesurée par le capteur de pression et la température ambiante mesurée par le capteur de température, afin de réguler le débit du fluide dans le tuyau de manière à compenser le décalage produit par siphonnage thermique dans le signal de sortie du capteur thermique.
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