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1. (WO2007086560) MOLECULAR BEAM CELL HAVING PURGE FUNCTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/086560    International Application No.:    PCT/JP2007/051389
Publication Date: 02.08.2007 International Filing Date: 29.01.2007
IPC:
H01L 21/203 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01)
Applicants: Rohm Co., Ltd. [JP/JP]; 21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158585 (JP) (For All Designated States Except US).
YAMAMOTO, Takatoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UMEMOTO, Shinya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANABE, Tetsuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NISHIMOTO, Yoshio [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAMAMOTO, Takatoshi; (JP).
UMEMOTO, Shinya; (JP).
TANABE, Tetsuhiro; (JP).
NISHIMOTO, Yoshio; (JP)
Agent: YOSHIDA, Minoru; 2-32-1301, Tamatsukuri-motomachi Tennoji-ku, OsakOsaka-shi Osaka 5430014 (JP)
Priority Data:
2006-020724 30.01.2006 JP
Title (EN) MOLECULAR BEAM CELL HAVING PURGE FUNCTION
(FR) CELLULE DE FAISCEAU MOLÉCULAIRE AYANT UNE FONCTION D'ÉPURATION
(JA) パージ機能を有する分子線セル
Abstract: front page image
(EN)A molecular beam cell includes a crucible (2) for containing a raw material (29), a coil heater (3) for heating the raw material (29), and a side surface reflection unit (5) for reflecting heat from the coil heater (3). Furthermore, the molecular beam cell includes a base (7) for supporting the crucible (2), the coil heater (3), and the side surface reflection unit (5). The base (7) is held by a disc-shaped flange (9) via a plurality of pillars (20). A purge gas introduction pipe (44) is arranged for injecting a purge gas (48) into the crucible (2) so as to prevent contact of an atmospheric gas (36) with the raw material (29).
(FR)L'invention concerne une cellule de faisceau moléculaire comprenant un creuset (2) pour contenir une matière brute (29), une résistance chauffante spiralée (3) pour chauffer la matière brute (29) et une unité de réflexion de surface latérale (5) pour réfléchir la chaleur provenant de la résistance chauffante spiralée (3). En outre, la cellule de faisceau moléculaire comprend une base (7) pour supporter le creuset (2), la bobine chauffante spiralée (3) et l'unité de réflexion de surface latérale (5). La base (7) est maintenue par une bride en forme de disque (9) par l'intermédiaire d'une pluralité de colonnes (20). Un tuyau d'introduction de gaz d'épuration (44) est agencé pour injecter un gaz d'épuration (48) dans le creuset (2) de façon à empêcher le contact d'un gaz atmosphérique (36) avec la matière brute (29).
(JA) 分子線セルは、原料(29)を収容するるつぼ(2)と、前記原料(29)を加熱するコイルヒータ(3)と、前記コイルヒータ(3)からの熱を反射する側面反射部(5)とを有している。さらに、同分子線セルは、前記るつぼ(2)、前記コイルヒータ(3)および前記側面反射部(5)を支持するベース(7)を有している。前記ベース(7)は、複数の支柱(20)を介して、円盤状のフランジ(9)に保持される。前記るつぼ(2)の内部へパージガス(48)を吹き込むためのパージガス導入管(44)が設けられており、雰囲気ガス(36)が原料(29)に接触することを防止している。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)