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1. (WO2007083489) IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/083489    International Application No.:    PCT/JP2006/325808
Publication Date: 26.07.2007 International Filing Date: 25.12.2006
Chapter 2 Demand Filed:    13.06.2007    
IPC:
G03F 7/24 (2006.01)
Applicants: TOKYO DENKI UNIVERSITY [JP/JP]; 2, Kanda-Nishiki-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018457 (JP) (For All Designated States Except US).
HORIUCHI, Toshiyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
FUJITA, Katsuyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YASUDA, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HORIUCHI, Toshiyuki; (JP).
FUJITA, Katsuyuki; (JP).
YASUDA, Takashi; (JP)
Agent: MIZUNO, Katsufumi; 721, Marunouchi-Nakadori Bldg. 2-3, Marunouchi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2006-034413 17.01.2006 JP
Title (EN) IN-PLANE EXPOSURE DEVICE AND IN-PLANE EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF D’EXPOSITION PLANE ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION PLANE
(JA) 内面露光装置および内面露光方法
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a device and a method for exposing a photosensitive material attached to an inner surface of a cylinder, rectangular solid, or the like to light of a predetermined pattern. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An exposure device includes: a guide rod inserted into the internal space of an object to be exposed and applying exposure light into the inside of the object to be exposed; and a stage for modifying a relative position and/or a relative angle between the object to be exposed and the guide rod. After performing focusing point adjustment of the irradiation spot of the exposure light and/or performing the exposure start position adjustment, the exposure light is applied to a predetermined position of the object to be exposed so as to expose the photosensitive material attached to the inner surface of the object to be exposed to a light of a predetermined pattern.
(FR)La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour exposer un matériau photosensible fixé à une surface interne d'un cylindre, d'un solide rectangulaire, ou similaire, à de la lumière d'un motif prédéterminé. Un tel dispositif comprend : une baguette de guidage insérée dans l’espace interne d’un objet à exposer et l’application de la lumière d'exposition à l’intérieur de l’objet à exposer ; et une étape servant à modifier la position relative et/ou l'angle relatif entre l'objet à exposer et la baguette de guidage. Après avoir réalisé l’ajustement du point de focalisation du spot d’irradiation de la lumière d’exposition et/ou après avoir réalisé l'ajustement de la position de départ d'exposition, la lumière d'exposition est appliquée à une position prédéterminée de l'objet à exposer de façon à exposer le matériau photosensible fixé à la surface interne de l’objet à exposer à une lumière de motif prédéterminé.
(JA)【課題】円筒、角筒等の内面に付着させた感光性物質を所定のパターンに感光する装置および方法を提供する。 【解決手段】被露光物の内部空間内に挿入され露光光線を該被露光物の内側に照射するガイドロッドと、前記被露光物と前記ガイドロッドとの相対位置および/または相対角度を変更するステージを設け、前記露光光線の照射スポットの焦点合わせおよび/または露光開始位置合わせをした後に、該露光光線を該被露光物の所定の位置に照射し、該被露光物の内面に付した感光性物質を所定のパターンに感光する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)