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1. (WO2007080706) EMISSION GAS TREATING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/080706    International Application No.:    PCT/JP2006/322969
Publication Date: 19.07.2007 International Filing Date: 17.11.2006
IPC:
B01D 53/68 (2006.01), B01D 53/70 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION [JP/JP]; 3-26, Koyama 1-chome Shinagawa-ku, Tokyo 1428558 (JP) (For All Designated States Except US).
SAKODA, Kaoru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHIHARA, Yoshio [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SAKODA, Kaoru; (JP).
ISHIHARA, Yoshio; (JP)
Agent: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku Tokyo 1048453 (JP)
Priority Data:
2006-003554 11.01.2006 JP
Title (EN) EMISSION GAS TREATING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE GAZ D’EMISSION
(JA) 排ガス処理装置
Abstract: front page image
(EN)An emission gas treating apparatus comprising gas supply unit (2) for supplying of a gas, such as C3F8, to gas-using equipment (1); detoxification unit (4) for receiving and detoxifying of emission gas from the gas-using equipment (1); detoxifying agent charging/discharging unit (5); and control unit (6). Data on the type, flow rate and supply duration of gas fed from the gas supply unit (2) to the gas-using equipment (1) are sent to the control unit (6). The control unit (6) estimates the breakthrough timing of detoxification tube (41) of the detoxification unit (4) on the basis of the above data, upon arrival of breakthrough timing orders switching of the detoxification tube (41) and directs the detoxifying agent charging/discharging unit (5) on discharging or charging of the detoxifying agent.
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement de gaz d'émission comprenant une unité d’alimentation en gaz (2) destinée à alimenter un gaz, tel que C3F8, dans un équipement utilisant un gaz (1) ; une unité de détoxication (4) destinée à recevoir et détoxiquer le gaz d'émission à partir de l'équipement utilisant un gaz (1) ; une unité de charge/décharge d’un agent de détoxication (5) ; et une unité de commande (6). Les données concernant le type, le débit et la durée d'alimentation en gaz à partir de l'unité d'alimentation en gaz (2) envers l'équipement utilisant un gaz (1) sont envoyées à l'unité de commande (6). L'unité de commande (6) estime le synchronisme de percée du tube de détoxication (41) de l’unité de détoxication (4) sur la base des données ci-dessus, lors de l’arrivée des ordres de synchronisme de percée commutant le tube de détoxication (41) et dirige l'unité de charge/décharge d’un agent de détoxication (5) vers la décharge ou la charge de l'agent de détoxication.
(JA) 本発明の排ガス処理装置は、ガス使用設備1にCなどのガスを供給するガス供給装置2と、ガス使用設備1からの排ガスを受け入れて除害する除害装置4と、除害剤充填排出装置5と、制御装置6を備えている。ガス供給装置2からガス使用設備1に送られるガスの種類、流量、供給時間のデータを制御装置6に送る。制御部6は、これらのデータに基づいて除害装置4の除害筒41の破過時期を予測し、破過時期になると除害筒41の切替の指示を行い、除害剤の排出、充填を除害剤充填排出装置5に指示する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)