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1. (WO2007080568) SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECES HAVING MICROSCOPIC FEATURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/080568    International Application No.:    PCT/IL2006/001418
Publication Date: 19.07.2007 International Filing Date: 11.12.2006
IPC:
G06K 9/00 (2006.01)
Applicants: ORBOTECH LTD. [IL/IL]; DERECH SANHEDRIN, P.O. Box 215, 81102 Yavne (IL) (For All Designated States Except US).
SAPHIER, Ofer [IL/IL]; (IL) (For US Only).
ADIN, Raanan [IL/IL]; (IL) (For US Only).
FISCH, David [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: SAPHIER, Ofer; (IL).
ADIN, Raanan; (IL).
FISCH, David; (IL)
Agent: FAIBISCH, Michael; c/o ORBOTECH LTD., P.O. Box 215, 81102 Yavne (IL)
Priority Data:
11/329,390 11.01.2006 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING WORKPIECES HAVING MICROSCOPIC FEATURES
(FR) SYSTEME ET PROCEDE D'INSPECTION DE PIECES A CARACTERISTIQUES MICROSCOPIQUES
Abstract: front page image
(EN)Apparatus for high resolution processing of a generally planar workpiece having microscopic features to be imaged, comprising a video camera acquiring at least two candidate images of a microscopic portion on generally planar workpiece; a motion controller operative to effect motion, relative to the workpiece, of at least an optical element of the video camera along an optical axis extending generally normally to a location on a surface of the workpiece, the video camera acquiring the at least two candidate images at selected time intervals, each of the at least two candidate images differing by at least one image parameter; an image selector operative to select an individual image from among the at least two candidate images according to predefined criteria of image quality; and a selected image analyzer operative to analyze at least a portion of the individual image selected by the image selector.
(FR)Dispositif haute résolution pour le traitement haute résolution de pièce généralement plane à caractéristiques microscopiques à imager, qui comprend une caméra vidéo acquérant au moins deux images candidates d'une partie microscopique sur ladite pièce ; dispositif de commande de mouvement capable de déplacer, par rapport à la pièce, au moins un élément optique de la caméra le long d'un axe optique s'étendant généralement perpendiculairement à un emplacement d'une surface de la pièce, la caméra saisissant les deux ou plus de deux images candidates selon des intervalles de temps spécifiques, chacune des images différant de l'autre ou des autres par au moins un paramètre d'image ; un sélecteur d'image sélectionnant une image individuelle parmi les images candidates considérées selon des critères de qualité d'image prédéfinis ; et un analyseur d'image sélectionnée analysant au moins une partie de l'image individuelle sélectionnée par le sélecteur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)