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1. (WO2007080523) MAGLEV OBJECT POSITIONING APPARATUS AND METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT AND MAINTAINING POSITION WITH HIGH STABILITY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/080523    International Application No.:    PCT/IB2007/050021
Publication Date: 19.07.2007 International Filing Date: 04.01.2007
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Applicants: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL-5621 BA Eindhoven (NL) (For All Designated States Except US).
VERMEULEN, Johannes, P., M., B. [NL/US]; (NL) (For US Only).
VAN EIJK, Jan [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: VERMEULEN, Johannes, P., M., B.; (NL).
VAN EIJK, Jan; (NL)
Agent: ROLFES, Johannes, G., A.; Prof. Holstlaan 6, NL-5656 AA Eindhoven (NL)
Priority Data:
06100197.0 10.01.2006 EP
Title (EN) MAGLEV OBJECT POSITIONING APPARATUS AND METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT AND MAINTAINING POSITION WITH HIGH STABILITY
(FR) APPAREIL DE POSITIONNEMENT D’UN OBJET A SUSTENTATION MAGNETIQUE ET PROCEDE DE POSITIONNEMENT ET DE STABILISATION SURE D’UN OBJET
Abstract: front page image
(EN)The proposed object positioning apparatus comprises a dynamically and thermally stable frame (1) and at least one stage (3), at least one maglev actuator assembly (4) for providing controllable electromagnetic movement, that is drive and/or guide capability of said stage, controlling means configured to drive and guide said maglev stage, and docking means (5) configured to establish a mechanical contact between said stage and said stable frame. Thus, first the object can be accurately moved to its desired position and then mechanically docked to a stiff and stable reference.
(FR)L’invention concerne un appareil de positionnement d’un objet, comprenant une armature à stabilité dynamique et thermique (1) et au moins un étage (3), au moins un ensemble actionneur à sustentation magnétique (4) servant à assurer un mouvement électromagnétique modulable capable d’entraîner et/ou de guider ledit étage, un moyen de commande conçu pour commander l’entraînement et le guidage dudit étage, et un moyen d’arrimage (5) conçu pour établir un contact mécanique entre ledit étage et ladite armature à stabilité dynamique et thermique. L’invention permet donc tout d’abord de déplacer l’objet avec précision pour le mettre dans une position souhaitée, puis de l’arrimer mécaniquement à une armature stable et rigide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)