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Pub. No.:    WO/2007/074810    International Application No.:    PCT/JP2006/325884
Publication Date: 05.07.2007 International Filing Date: 26.12.2006
G03F 1/50 (2012.01), G03F 1/54 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: HOYA CORPORATION [JP/JP]; 7-5, Naka-Ochiai 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1618525 (JP) (For All Designated States Except US).
MITSUI, Masaru [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SANO, Michiaki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MITSUI, Masaru; (JP).
SANO, Michiaki; (JP)
Agent: FUJIMURA, Yasuo; Room 834, Winaoyama Bldg., 2-15, Minamiaoyama 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1070062 (JP)
Priority Data:
2005-371970 26.12.2005 JP
(JA) マスクブランク及びフォトマスク
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a large mask and a mask blank for FPD suitable for multicolor exposure. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A mask blank for the manufacture of an FPD device, comprising a light transparent substrate and at least a semi-light transparent film for a gray tone mask having the function of regulating transmission amount provided on the light transparent substrate, characterized in that the semi-light transparent film for a gray tone mask is a film regulated so that, in a wavelength range at least from i line to g line radiated from an ultrahigh pressure mercury lamp, the transmittance (that is, semitransmittance) range of the semi-light transparent film is within less than 5%.
(FR)La présente invention concerne un large masque et une matrice de masque pour un FPD adapté à l’exposition multicolore. Elle concerne une matrice de masque pour la fabrication d’un dispositif FPD, comprenant un substrat transparent à la lumière et au moins une pellicule semi-transparente à la lumière pour un masque de niveaux de gris dont la fonction est de réguler le taux de transmission sur le substrat transparent à la lumière, caractérisée en ce que la pellicule semi-transparente à la lumière pour un masque de niveaux de gris est une pellicule régulée de telle sorte que, dans une plage de longueurs d'ondes au moins de la ligne i à la ligne g émise par une lampe à mercure à ultra-haute pression, l’étendue du facteur de transmission (c'est-à-dire, le facteur de semi-transmission) de la pellicule semi-transparente à la lumière est inférieure à 5%.
(JA)[課題]多色波露光に適したFPD用大型マスク及びマスクブランクを提供する。 [解決手段]透光性基板上に、透過量を調整する機能を有するグレートーンマスク用半透光性膜を少なくとも有するFPDデバイスを製造するためのマスクブランクであって、  前記グレートーンマスク用半透光性膜は、超高圧水銀灯から放射される少なくともi線からg線に渡る波長帯域において、半透光性膜の透過率(即ち半透過率)の変動幅が5%未満の範囲内となるように制御された膜であることを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)