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1. WO2007030993 - MICRO-CAVITY MEASURING EQUIPMENT AND METHOD BASED ON DOUBLE OPTICAL FIBER COUPLING

Publication Number WO/2007/030993
Publication Date 22.03.2007
International Application No. PCT/CN2006/001770
International Filing Date 19.07.2006
IPC
G01B 11/02 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02for measuring length, width, or thickness
CPC
G01B 11/007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
002for measuring two or more coordinates
005coordinate measuring machines
007feeler heads therefor
G01B 5/201
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
5Measuring arrangements characterised by the use of mechanical means
20for measuring contours or curvatures
201for measuring roundness
Applicants
  • HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY [CN]/[CN] (AllExceptUS)
  • TAN, Jiubin [CN]/[CN] (UsOnly)
  • CUI, Jiwen [CN]/[CN] (UsOnly)
Inventors
  • TAN, Jiubin
  • CUI, Jiwen
Agents
  • INTELLECPRO CHINA LIMITED
Priority Data
200510102478.614.09.2005CN
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) MICRO-CAVITY MEASURING EQUIPMENT AND METHOD BASED ON DOUBLE OPTICAL FIBER COUPLING
(FR) EQUIPEMENT DE MESURE DE MICROCAVITES ET PROCEDE UTILISANT LE COUPLAGE DE FIBRES OPTIQUES DOUBLES
Abstract
(EN)
A micro-cavity measuring equipment based on double optical fiber coupling includes a sight and transmitter, a controller, and a length measuring device. The equipment detects small changes in the position of an object with respect to a probe from a moment when the sight and transmitter starts working to another moment when the sight and transmitter stops working. The controller has a program to automatically control the whole measuring process. The measuring equipment is characterized in that the sight and transmitter consists of a laser unit, a data collecting and processin unit, and a double optical fiber coupling unit with its ends of incident and effluent optical fibers fixe on a coupler. A micro-cavity measuring method based on double optical fiber coupling consists of th following steps: inserting the probe into the micro-cavity and moving it in the measuring direction; sending signals to the length measuring device by the sight and transmitter to cause the length measuring device to record the corresponding position of the probe when the probe is contact with the sides of the micro-cavity; and then calculating the dimensions of the micro-cavity.
(FR)
L'équipement de mesure de microcavités utilisant un couplage de fibres optiques doubles comprend un émetteur, un contrôleur et un dispositif de mesure de longueur. L'équipement détecter des petites modifications dans la position d'un objet par rapport à une sonde à partir d'un moment où l'émetteur commence à fonctionner jusqu'à un autre moment où l'émetteur s'arrête. Le contrôleur présente un programme de commande automatique du processus complet de mesure. L'équipement de mesure est caractérisé par le fait que l'émetteur est formé d'une unité laser, d'une unité de collecte et de traitement de données et d'une unité de couplage à doubles fibres optiques dont l'extrémité comporte des fibres optiques incidentes et effluentes fixées sur un coupleur. Le procédé de mesure de microcavités utilisant le couplage de fibres optiques doubles comprend les étapes suivantes: insertion de la sonde dans la microcavité et déplacement de celle-ci dans le sens de la mesure; envoi de signaux vers le dispositif de mesure de longueur au moyen de l'émetteur afin de permettre l'enregistrement de la position correspondante de la sonde lorsqu'elle est en contact avec les côtés de la microcavité; et calcul des dimensions de la microcavité.
Also published as
EP06761505
EP6761505
GB718827
GB0718827.9
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