(EN) A projection objective for imaging a pattern provided in an object surface onto an image surface of the projection objective has an object-side imaging subsystem for creating a final intermediate image closest to the image surface from radiation coming from the object surface and an image-side imaging subsystem for directly imaging the final intermediate image onto the image surface. The the image-side imaging subsystem includes at least one aspheric primary correcting lens having an aspheric primary correcting surface. The object-side imaging subsystem includes a secondary correcting group having at least one secondary correcting lens having an aspheric secondary correcting surface. Conditions involving maximum incidence angles and subaperture offsets at the correcting surfaces are given which should be observed to obtain sufficient aberration correction at very high image-side numerical apertures NA.
(FR) L'invention concerne un objectif de projection destiné à former, sur une surface image de l'objectif de projection, l'image d'un motif formé à la surface d'un objet, lequel objectif de projection comprend un sous-système d'imagerie côté objet destiné à créer une image intermédiaire finale la plus proche de la surface image à partir du rayonnement venant de la surface de l'objet, et un sous-système d'imagerie côté image destiné à former directement une image de l'image intermédiaire finale sur la surface image. Le sous-système d'imagerie côté image comprend au moins une lentille de correction primaire asphérique possédant une surface de correction primaire asphérique. Le sous-système d'imagerie côté image comprend également un groupe de correction secondaire comportant au moins une lentille de correction secondaire possédant une surface de correction secondaire asphérique. Des conditions portant sur des décalages de sous-ouvertures et des angles d'incidence maximaux sur les surfaces de correction doivent être remplies pour obtenir une correction d'aberration suffisante à des valeurs d'ouvertures numériques (NA) côté image élevées.