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1. (WO2007019714) OPTICAL INTERFEROMETRIC PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/019714    International Application No.:    PCT/CH2006/000375
Publication Date: 22.02.2007 International Filing Date: 18.07.2006
IPC:
G01L 11/02 (2006.01)
Applicants: INFICON GMBH [CH/CH]; Hintergasse 15B, CH-7310 Bad Ragaz (CH) (For All Designated States Except US).
WÄLCHLI, Urs [CH/CH]; (CH) (For US Only).
BJÖRKMAN, Per [FI/FI]; (FI) (For US Only).
SAARI, Heikki [FI/FI]; (FI) (For US Only).
ANTILA Jarkko [FI/FI]; (FI) (For US Only).
HANSELMANN, Hansjakob [CH/CH]; (CH) (For US Only).
WÜEST, Martin [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: WÄLCHLI, Urs; (CH).
BJÖRKMAN, Per; (FI).
SAARI, Heikki; (FI).
ANTILA Jarkko; (FI).
HANSELMANN, Hansjakob; (CH).
WÜEST, Martin; (CH)
Agent: WEGMANN, Urs; Saschela 3, CH-9479 Oberschan (CH)
Priority Data:
60/707,770 12.08.2005 US
Title (DE) OPTISCHER INTERFEROMETRISCHE DRUCKSENSOR
(EN) OPTICAL INTERFEROMETRIC PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION INTERFEROMETRIQUE OPTIQUE
Abstract: front page image
(DE)Eine Vakuummesszelle umfasst einen ersten Gehäusekörper (1) aus Aluminiumoxyd mit einer davor, im Randbereich Vakuum dichtend angeordneten Membrane (2) aus Aluminiumoxyd, bildend einen Referenzvakuumraum (25), und dass ein zweiter Gehäusekörper (4) aus Aluminiumoxyd gegenüber der Membrane (2) im Randbereich Vakuum dichtend vorgesehen ist, bildend einen Messvakuumraum (26) mit Anschlussmittel (5) für das zu messende Medium, wobei im ersten Gehäusekörper (1) im Zentrumsbereich ein optisch transparentes Fenster (33) ausgebildet ist und die, diesem zugewandte Membranoberfläche (31) im Zentrumsbereich optisch reflektierend ausgebildet ist und dass ausserhalb des Referenzvakuumraumes (25) gegenüber und beabstandet von diesem Fenster (33) eine Lichtleitfaser (37) zur Ein- und Auskopplung von Licht auf die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, wobei zwischen der Lichtleitfaser (37) und dem Fenster eine Linse (35) zur optischen Ankopplung an die Membranoberfläche (31) vorgesehen ist, derart dass die Anordnung eine Messstrekke bildet zur Erfassung von Auslenkungen der Membrane (2) mit einem Fabry - Perot Interferometer.
(EN)The invention relates to a vacuum measuring cell comprising a first housing body (1) consisting of aluminium oxide, with an aluminium oxide membrane (2) arranged in front of the housing body in a vacuum-sealing manner in the edge region, forming a reference vacuum region (25). The inventive vacuum measuring cell also comprises a second aluminium oxide housing body (4) which is vacuum-sealed in relation to the membrane (2) in the edge region, forming a measuring vacuum region (26), with connection means (5) for the medium to be measured. An optically transparent window (33) is embodied in the central region in the first housing body (1). The membrane surface (31) facing said window is embodied in such a way that it is optically reflective in the central region. An optical wave guide (37) for projecting light onto the membrane surface (31) and extracting it therefrom is provided outside the reference vacuum region (25) in relation to, and at a distance from, said window (33). A lens is provided between the optical wave guide (37) and the window, for optical coupling to the membrane surface (31), in such a way that the arrangement forms a measuring section for detecting deviations of the membrane (2) by means of a Fabry-Perot interferometer.
(FR)L'invention concerne une cellule de mesure de vide comprenant un premier corps de boîtier (1) en oxyde d'aluminium, avec une membrane (2) en oxyde d'aluminium, disposée devant, de manière étanche au vide, dans la zone marginale, de sorte à former un espace sous vide de référence (25). Il est prévu un second corps de boîtier (4) en oxyde d'aluminium, disposé de manière étanche au vide, par rapport à la membrane (2), dans la zone marginale, de manière à former un espace sous vide de mesure (26), avec des éléments de raccordement (5) pour le milieu à mesurer. Une fenêtre (33) optiquement transparente est ménagée dans le premier corps de boîtier (1), dans la zone centrale. La surface membranaire (31) qui fait face à cette fenêtre est conçue de manière optiquement réfléchissante dans la zone centrale. Il est prévu une fibre optique (37) en dehors de l'espace sous vide de référence (25), par rapport et à distance de ladite fenêtre (33), pour projeter de la lumière sur la surface membranaire (31) et l'en évacuer. Entre la fibre optique (37) et la fenêtre, il est prévu une lentille (35) pour assurer le couplage optique avec la surface membranaire (31), de sorte que la configuration constitue une section de mesure pour détecter des déviations de la membrane (2) avec un interféromètre de Fabry-Perot.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)