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1. (WO2007018464) METHOD AND APPARATUS FOR PROJECTION PRINTING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/018464    International Application No.:    PCT/SE2006/000932
Publication Date: 15.02.2007 International Filing Date: 08.08.2006
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: MICRONIC LASER SYSTEMS AB [SE/SE]; IPR & Legal department, Nytorpsvägen 9, S-183 03 Täby (SE) (For All Designated States Except US).
SANDSTRÖM, Torbjörn [SE/SE]; (SE) (For US Only).
IVONIN, Igor [RU/SE]; (SE) (For US Only)
Inventors: SANDSTRÖM, Torbjörn; (SE).
IVONIN, Igor; (SE)
Priority Data:
60/706,550 08.08.2005 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PROJECTION PRINTING
(FR) PROCEDE ET APPAREIL D'IMPRESSION PAR PROJECTION
Abstract: front page image
(EN)A method, apparatus for and a device manufactured by the same, for printing a microlithographic pattern with high fidelity and resolution using simultaneously optimized illuminator and pupil filters having semi-continuous transmission profiles. The optimization can be further improved if the illuminator and pupil filters are polarization selective. The optimization method becomes a linear programming problem and uses a set of relevant features in the merit function. With a suitably chosen merit function and a representative feature set both neutral printing without long-range proximity effects and good resolution of small features can be achieved. With only short-range proximity effects OPC correction is simple and can be done in real time using a perturbation method.
(FR)L'invention concerne un procédé, un dispositif fabriqué à l'aide du procédé et un appareil associé, qui permettent d'imprimer un motif microlithographique avec une fidélité et une résolution élevées, au moyen d'un système d'éclairage et de filtres pupillaires optimisés simultanément et dont les profils de transmission sont semi-continus. L'optimisation peut être améliorée davantage si le système d'éclairage et les filtres pupillaires sont sélectifs à l'égard de la polarisation. Le procédé d'optimisation devient un problème de programmation linéaire et utilise un ensemble de caractéristiques pertinentes dans la fonction d'évaluation. Grâce à une fonction d'évaluation choisie de manière appropriée et à un ensemble de caractéristiques représentatives, on obtient une impression neutre sans effets de proximité à longue portée et une bonne résolution des petits caractères. Les seuls effets de proximité à courte portée produits peuvent être traités simplement en temps réel par une correction OPC, à l'aide d'une méthode de perturbation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)