WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007016682) SYSTEMS CONFIGURED TO GENERATE OUTPUT CORRESPONDING TO DEFECTS ON A SPECIMEN
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/016682    International Application No.:    PCT/US2006/030296
Publication Date: 08.02.2007 International Filing Date: 02.08.2006
IPC:
G01N 21/00 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 (US) (For All Designated States Except US).
HWANG, Shiow-Hwei [US/US]; (US) (For US Only).
FU, Tao-Yi [US/US]; (US) (For US Only).
LIU, Xiumei [CN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HWANG, Shiow-Hwei; (US).
FU, Tao-Yi; (US).
LIU, Xiumei; (US)
Agent: LETTANG, Mollia, E.; BAKER & MCKENZIE LLP, 1114 Avenue of the Americas, New York, NY 10036 (US)
Priority Data:
60/704,738 02.08.2005 US
Title (EN) SYSTEMS CONFIGURED TO GENERATE OUTPUT CORRESPONDING TO DEFECTS ON A SPECIMEN
(FR) SYSTEMES AGENCES DE FAÇON A GENERER UNE SORTIE CORRESPONDANT A DES DEFAUTS SUR UN PRELEVEMENT
Abstract: front page image
(EN)Systems configured to generate output corresponding to defects on a specimen and systems configured to generate phase information about defects on a specimen are provided. One system includes an optical subsystem that is configured to create interference between a test beam and a reference beam. The test beam and the reference beam are reflected from the specimen. The system also includes a detector that is configured to generate output representative of the interference between the test and reference beams. The interference increases contrast between the output corresponding to the defects and output corresponding to non-defective portions of the specimen.
(FR)La présente invention concerne des systèmes agencés de façon générer une sortie correspondant à des défauts sur un prélèvement et des systèmes agencés de façon générer des informations de phase relatives à des défaut sur un prélèvement. Un système comprend un sous système agencé de façon à créer une interférence entre un faisceau test et un faisceau de référence. Le faisceau test et le faisceau de référence sont réfléchis par le prélèvement. Ce système comprend aussi un détecteur qui est agencé de façon à générer une sortie représentative de l'interférence entre le faisceau test et le faisceau de référence. L'interférence accroît le contraste entre la sortie correspondant aux défauts et la sortie correspondant à des parties exemptes de défauts du prélèvement.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)