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1. (WO2007015379) SHEET CUTTING DEVICE AND SHEET CUTTING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/015379    International Application No.:    PCT/JP2006/314484
Publication Date: 08.02.2007 International Filing Date: 21.07.2006
IPC:
B26D 7/10 (2006.01), B25J 9/06 (2006.01), B26D 7/08 (2006.01), B26D 7/22 (2006.01)
Applicants: LINTEC CORPORATION [JP/JP]; 23-23, Honcho, Itabashi-ku Tokyo 1730001 (JP) (For All Designated States Except US).
NONAKA, Hideaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKATA, Kan [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SUGISHITA, Yoshiaki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KOBAYASHI, Kenji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NONAKA, Hideaki; (JP).
NAKATA, Kan; (JP).
SUGISHITA, Yoshiaki; (JP).
KOBAYASHI, Kenji; (JP)
Agent: YAMAGUCHI, Yoshio; 8th Floor, Izumi Building 4-17, Tsurumaki 1-chome Tama-shi, Tokyo 2060034 (JP)
Priority Data:
2005-226334 04.08.2005 JP
2006-015783 25.01.2006 JP
Title (EN) SHEET CUTTING DEVICE AND SHEET CUTTING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE COUPE DE FEUILLE ET PROCÉDÉ DE COUPE DE FEUILLE
(JA) シート切断装置及び切断方法
Abstract: front page image
(EN)A sheet cutting device (15) cutting a sheet (S) along the outer edge of a wafer (W) after the sheet (S) is stuck on the wafer on a sticking table (13). The cutting device (15) comprises a robot body (62) disposed on the side of the sticking table (13) and a cutter blade (63) supported through a tool holding chuck (69) positioned at the tip of the robot body (62). The cutter blade (63) is detachable from the tool holding chuck (69) and formed replaceable, and cuts the sheet (S) in such a state that its attitude is adjusted along a preset moving route.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de coupe de feuille (15) permettant de couper une feuille (S) le long du bord externe d’une plaquette (W) une fois que la feuille (S) est fixée sur la plaquette disposée sur une table de collage (13). Le dispositif de coupe (15) comprend un corps de robot (62) disposé sur le côté de la table de collage (13) et une lame de cutter (63) maintenue par un mandrin de support d’outil (69) placé à la pointe du corps de robot (62). La lame de cutter (63) se détache du mandrin de support d’outil (69) et est remplaçable, elle coupe également la feuille (S) de telle sorte que sa position est réglée le long d’une trajectoire mobile préétablie.
(JA) 貼付テーブル13上のウエハWにシートSを貼付した後に、当該シートSをウエハ外縁に沿って切断する切断装置15。この切断装置15は、貼付テーブル13の側方に配置されたロボット本体62と、このロボット本体62の先端に位置する工具保持チャック69を介して支持されたカッター刃63とを備えている。カッター刃63は工具保持チャック69に着脱自在であって、交換可能に設けられているとともに、予め設定された移動軌跡に沿って姿勢調整された状態でシートSの切断を行うようになっている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)