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1. (WO2007015218) MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/015218    International Application No.:    PCT/IB2006/052657
Publication Date: 08.02.2007 International Filing Date: 03.08.2006
IPC:
H02N 10/00 (2006.01)
Applicants: KOLO TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 3300 Brittany Ct., San Jose, California 95135 (US) (For All Designated States Except US).
HUANG, Yongli [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: HUANG, Yongli; (US)
Agent: GAO M., ZeMing; 14155 Nw Greenwood Dr, Portland, Oregon 97229-2344 (US)
Priority Data:
60/705,606 03.08.2005 US
60/744,242 04.04.2006 US
Title (EN) MICRO-ELECTRO-MECHANICAL TRANSDUCER HAVING AN OPTIMIZED NON-FLAT SURFACE
(FR) TRANSDUCTEUR MICRO-ELECTROMECANIQUE POSSEDANT UNE SURFACE NON PLATE OPTIMISEE
Abstract: front page image
(EN)A micro-electro-mechanical transducer (such as a cMUT) having a non-flat surface (740-744) is disclosed. The non-flat surface (740-744) may include a variable curve or slope in an area where a spring layer (720) contacts a support (730), thus making a variable spring model as the spring layer (720) vibrates. The non-flat surface (740-744) may be that of a non-flat electrode optimized to compensate the dynamic deformation of the other electrode during operation and thus enhance the uniformity of the dynamic electrode gap during operation. Methods for fabricating the micro-electro-mechanical transducer are also disclosed The methods may be used in both conventional membrane-based cMUTs and cMUTs having embedded springs transportion a rigid top plate.
(FR)L'invention concerne un transducteur micro-électromécanique (tel qu'un cMUT) présentant une surface non plate. La surface non plate pouvant comporter une courbe ou une pente variable dans une zone dans laquelle une couche de ressort entre en contact avec un support, produisant ainsi un modèle de ressort variable lorsque la couche de ressort vibre. La surface non plate peut consister en une électrode non plate optimisée afin de compenser la déformation dynamique de l'autre électrode durant le fonctionnement et améliorer ainsi l'uniformité de l'espace d'électrode dynamique durant le fonctionnement. L'invention concerne également des procédés destinés à fabriquer le transducteur micro-électromécanique. Ces procédés peuvent être utilisés à la fois dans des cMUT à base de membranes classiques et dans des cMUT présentant des ressorts intégrés supportant une plaque supérieure rigide.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)