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1. (WO2007013287) VALVELESS MICROPUMP
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請求の範囲

[1] 流体流れの流路にディフューザ形状流路を形成し,前記流路をディフューザ流れの 入口側を狭い流路に且つディフューザ流れの出口側を広い流路に形成し,前記狭 い流路に連通する体積変動室を配設し,前記体積変動室に振動付勢手段を設け, 前記振動付勢手段を付勢して発生した振動によって,前記体積変動室内の流体に 圧力変動を発生させ,前記流体の前記圧力変動を前記流体の振動流に変換し,前 記流路における前記流体の前記振動流によって前記流路に前記流体の一方向流 れを発生させることを特徴とするバルブレスマイクロポンプ。

[2] 前記振動付勢手段は,圧電素子であることを特徴とする請求項 1に記載のバルブレ スマイクロポンプ。

[3] 前記狭!、流路には前記ディフューザ流れの前記入口側として機能し且つノズル流れ の出口側として機能する流路管が接続され,また,前記広い流路には前記ディフユ 一ザ流れの前記出口側として機能し且つ前記ノズル流れの入口側として機能する流 路管が接続されていることを特徴とする請求項 1又は 2に記載のバルブレスマイクロポ ンプ。

[4] 前記振動付勢手段を付勢して前記流体に前記振動流を与えると,前記流体は,前 記ディフューザ流れよりも流路抵抗が低!ヽ前記ノズル流れで流れ,前記広!ヽ流路か ら前記狭ヽ流路へと搬送されることを特徴とする請求項 3に記載のバルブレスマイク 口ポンプ。

[5] 前記圧電素子は,前記体積変動室に直接配設されていることを特徴とする請求項 1

〜4のいずれか 1項に記載のバルブレスマイクロポンプ。

[6] 前記体積変動室は,前記流路における前記ディフューザ形状流路に近接した位置 で連絡流路によって連通するように配設されて、ることを特徴とする請求項 1〜5のヽ ずれか 1項に記載のバルブレスマイクロポンプ。

[7] 前記ディフューザ形状流路のディフューザ開き角度は, 10° 〜90° の範囲であるこ とを特徴とする請求項 6に記載のバルブレスマイクロポンプ。

[8] 前記ディフューザ形状流路の前記ディフューザ開き角度は, 50° 前後であることを 特徴とする請求項 7に記載のバルブレスマイクロポンプ。