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Pub. No.:    WO/2007/013274    International Application No.:    PCT/JP2006/313456
Publication Date: 01.02.2007 International Filing Date: 06.07.2006
F04B 37/16 (2006.01), F04B 39/06 (2006.01), F04D 19/04 (2006.01), F04D 29/00 (2006.01)
Applicants: BOC EDOWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; Sanshikaikan, 9-4, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006 (JP) (For All Designated States Except US).
OKUDERA, Satoshi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KABASAWA, Takashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SAKAGUCHI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OKUDERA, Satoshi; (JP).
KABASAWA, Takashi; (JP).
SAKAGUCHI, Yoshiyuki; (JP)
Agent: WADA, Shigenori; Tohko Building 4F, 15-16, Uchikanda 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010047 (JP)
Priority Data:
2005-221319 29.07.2005 JP
(JA) 真空ポンプ装置とそのコントローラ
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To reduce the size of a vacuum pump device while eliminating vibration by efficiently removing the heat of a control circuit substrate incorporated in a controller without relying upon conventional forced air-cooling system and water-cooling system. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] In this controller (3) mounted on the outside of a pump body (2) and having the built-in control circuit substrate (34) to control the operation of the pump body, a heat sink (4) covering the periphery of the controller (3) and having a plurality of fins (43, 43,...) arranged in order on the outer wall surface thereof is installed, the orientations of the fins (43) are tilted relative to the rotating center axis (L) of the pump body (2), and a large number of vent holes (36, 36,...) are opened in the rear panel (31-2) and the bottom panel (31-3) of a controller case (31). Thus, even if the pump body (2) takes any attitude against a vacuum chamber (10), the heat radiating surfaces of the fins (43) face diagonal upward, and accordingly the natural convection of air flowing between the fins (43, 43) is liable to occur and hot air in the case is securely released to the outside through the vent holes (36). As a result, the heat radiating efficiency of the heated controller (3) can be increased.
(FR)L’invention entend réduire la taille d’un dispositif de pompe à vide tout en supprimant les vibrations en retirant de manière efficace la chaleur d’un substrat de circuit de commande intégré à un contrôleur sans dépendre d’un système conventionnel à refroidissement par air forcé ni d’un système de refroidissement à l’eau. L’invention concerne un contrôleur (3) monté à l’extérieur d’un corps de pompe (2) et où le substrat de circuit de commande intégré (34) contrôle l’exploitation du corps de pompe, dans lequel est installé un dissipateur de chaleur (4) recouvrant la périphérie du contrôleur (3) et ayant une pluralité d’ailettes (43, 43,...) disposées dans cet ordre à la surface de paroi externe, les orientations des ailettes (43) étant inclinées par rapport à l’axe central de rotation (L) du corps de pompe (2), et un grand nombre de trous d’évent (36, 36,...) étant ouverts dans le panneau arrière (31-2) et dans le panneau inférieur (31-3) d’un carter de contrôleur (31). Ainsi, même si le corps de pompe (2) adopte une attitude contre une chambre à vide (10), les surfaces de radiation thermique des ailettes (43) font face de manière diagonale vers le haut, et en conséquence la convexion naturelle d’air s’écoulant entre les ailettes (43, 43) devrait se produire et l’air chaud dans le carter est libéré de manière fiable vers l’extérieur à travers les trous d‘évent (36). En conséquence, l’efficacité de rayonnement de chaleur du contrôleur chauffé (3) peut être augmentée.
(JA)【課題】従来の強制空冷や水冷方式によらずにコントローラに内蔵された制御回路基板の熱を効率よく除去し、振動をなくしつつ小型化を実現すること。 【解決手段】ポンプ本体2の外部に装着され、その動作を制御する制御回路基板34が内蔵されたコントローラ3において、コントローラ3の周囲を覆い外壁面に複数枚のフィン43、43、…を整列させたヒートシンク4を設け、そのフィン43の向きをポンプ本体2の回転中心軸線Lに対し傾斜した状態にするとともに、コントローラケース31の背面パネル31-2と底面パネル31-3に多数の通気孔36,36,…を開口する。これにより、ポンプ本体2が真空チャンバ10に対していかなる姿勢であっても、フィン43の放熱面が斜め上方を向いていてフィン43、43間を流れる空気の自然対流が起こりやすくなるとともに、ケース内部の熱気が通気孔36から外部に確実に抜けるので、高温化したコントローラ3の放熱効率を向上させることができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)