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1. (WO2007011380) SUBSTRATE PROCESSING USING MOLECULAR SELF-ASSEMBLY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/011380    International Application No.:    PCT/US2005/033583
Publication Date: 25.01.2007 International Filing Date: 19.09.2005
IPC:
H01L 21/306 (2006.01)
Applicants: INTERMOLECULAR, INC. [US/US]; 2865 Zanker Road, San Jose, CA 95134 (US) (For All Designated States Except US).
LAZOVSKY, David, E. [US/US]; (US) (For US Only).
MALHOTRA, Sandra, G. [US/US]; (US) (For US Only).
CHIANG, Tony, P. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: LAZOVSKY, David, E.; (US).
MALHOTRA, Sandra, G.; (US).
CHIANG, Tony, P.; (US)
Agent: COURTNEY, Barbara, B.; COURTNEY STANIFORD & GREGORY & LLP, P.O. Box 9686, San Jose, CA 95157 (US)
Priority Data:
60/610,937 17.09.2004 US
11/132,817 18.05.2005 US
11/132,841 18.05.2005 US
Title (EN) SUBSTRATE PROCESSING USING MOLECULAR SELF-ASSEMBLY
(FR) TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT PAR AUTOASSEMBLAGE MOLECULAIRE
Abstract: front page image
(EN)A system for molecular self-assembly referred to herein as a 'molecular self-assembly system (MSAS)' includes at least one interface (204) configured to receive at least one substrate (200). The MSAS also includes at least one molecular self-assembly module (202) couped to the interface. The MSAS can also include one or more of pre-processing modules (201), other molecular self-assembly processing modules, and post-processing modules (203). Each module of the MSAS can contain at least one of a number of different processes as appropriate to a processing configuration of the MSAS. The MSAS also includes at least one handler (204a) coupled to the interface and configured to move the substrate between the interface and one or more of the modules.
(FR)Un système destiné à l'autoassemblage moléculaire appelé 'système d'autoassemblage moléculaire'' (SAAM) comprend au moins une interface configurée pour recevoir au moins un substrat. Le SAAM comprend également au moins un module d'autoassemblage moléculaire couplé à l'interface. Le SAAM peut également comprendre un ou plusieurs modules de prétraitement, d'autres modules de traitement d'autoassemblage moléculaire et des modules de post-traitement ainsi que n'importe quel nombre, n'importe quelle combinaison et/ou n'importe quel type d'autres modules. Chaque module du SAAM peut contenir au moins un processus faisant partie d'une pluralité de processus différents appropriés à une configuration de traitement du SAAM. Le SAAM comprend également au moins un automate programmable couplé à l'interface et configuré pour déplacer le substrat entre l'interface et un ou plusieurs modules.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)