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1. (WO2007010574) INTEGRATED PRESSURE SENSOR WITH A HIGH FULL-SCALE VALUE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/010574    International Application No.:    PCT/IT2005/000435
Publication Date: 25.01.2007 International Filing Date: 22.07.2005
IPC:
G01L 1/18 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01), G01L 9/06 (2006.01)
Applicants: STMICROELECTRONICS S.R.L. [IT/IT]; Via C. Olivetti, 2, I-20041 Agrate Brianza (IT) (For All Designated States Except US).
RICOTTI, Giulio [IT/IT]; (IT) (For US Only).
MORELLI, Marco [IT/IT]; (IT) (For US Only).
DELLA TORRE, Luigi [IT/IT]; (IT) (For US Only).
VITALI, Andrea, Lorenzo [IT/IT]; (IT) (For US Only)
Inventors: RICOTTI, Giulio; (IT).
MORELLI, Marco; (IT).
DELLA TORRE, Luigi; (IT).
VITALI, Andrea, Lorenzo; (IT)
Agent: JORIO, Paolo; c/o Studio Torta S.r.l., Via Viotti, 9, I-10121 Torino (IT)
Priority Data:
Title (EN) INTEGRATED PRESSURE SENSOR WITH A HIGH FULL-SCALE VALUE
(FR) CAPTEUR À PRESSION INTÉGRÉE AVEC VALEUR ÉLEVÉE PLEINE ÉCHELLE
Abstract: front page image
(EN)In an integrated pressure sensor (15) with a high full-scale value, a monolithic body (16) of semiconductor material has a first and a second main surface (16a and 16b), opposite and separated by a substantially uniform distance (w). The monolithic body (16) has a bulk region (17), having a sensitive portion (23) next to the first main surface (16a), upon which pressure (P) acts. A first piezoresistive detection element (18) is integrated in the sensitive portion (23) and has a variable resistance as a function of the pressure (P). The bulk region (17) is a solid and compact region and has a thickness substantially equal to the distance (w).
(FR)La présente invention concerne un capteur à pression intégrée (15) avec une valeur élevée pleine échelle, dans lequel un corps monolithique (16) d'un matériau semi-conducteur possède une première et une seconde surface principale (16a et 16b), opposées et séparées d'une distance sensiblement uniforme (w). Le corps monolithique (16) possède une surface de la masse (17) ayant une partie sensible (23) proche de la première surface principale (16a) sur laquelle agit la pression (P). Un premier élément de détection piézorésistif (18) est intégré dans la partie sensible (23) et possède une résistance variable comme fonction de la pression (P). La surface de la masse (17) est une surface solide et compacte et possède une épaisseur sensiblement égale à la distance (w).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Italian (IT)