WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007009634) METHOD AND DEVICE FOR MULTI-CATHODE-PVD-COATING AND SUBSTRATE HAVING PVD-COATING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/009634    International Application No.:    PCT/EP2006/006768
Publication Date: 25.01.2007 International Filing Date: 11.07.2006
Chapter 2 Demand Filed:    19.12.2006    
IPC:
H01J 37/34 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01)
Applicants: SYSTEC SYSTEM- UND ANLAGENTECHNIK GMBH & CO. KG [DE/DE]; Johann-Schöner-Strasse 73, 97753 Karlstadt (DE) (For All Designated States Except US).
MÜNZ, Wolf-Dieter [AT/AT]; (AT) (For US Only).
HOFMANN, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KUNKEL, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MANGOLD, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHÜSSLER, Hans [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MÜNZ, Wolf-Dieter; (AT).
HOFMANN, Dieter; (DE).
KUNKEL, Stefan; (DE).
MANGOLD, Jürgen; (DE).
SCHÜSSLER, Hans; (DE)
Agent: ZOUNEK, Nikolai; Zounek Plate Schweitzer, Rheingaustrasse 196, 65203 Wiesbaden (DE)
Priority Data:
10 2005 033 769.4 15.07.2005 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MEHRKATHODEN-PVD-BESCHICHTUNG UND SUBSTRAT MIT PVD-BESCHICHTUNG
(EN) METHOD AND DEVICE FOR MULTI-CATHODE-PVD-COATING AND SUBSTRATE HAVING PVD-COATING
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE REVETEMENT PAR DEPOT PHYSIQUE EN PHASE GAZEUSE A PLUSIEURS CATHODES ET SUBSTRAT MUNI D'UN REVETEMENT PAR DEPOT PHYSIQUE EN PHASE GAZEUSE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Mehrkathoden-PVD-Beschichtungsanlage, wobei ein Teil der Kathoden nach der magnetfeldunterstützten Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung und der Rest nach der magnetfeldunterstützten Kathodenzerstäubung mit Gleichstrom betrieben wird. Während der ionenunterstützten in vacuo Substratvorbehandlung wird alleine die magnetfeldunterstützte Hochleistungs-Impuls-Kathodenzerstäubung als Quelle mehrfach ionisierter Metall-Ionen benutzt, während bei der Beschichtung grundsätzlich beide Kathodenzerstäubungstypen simultan zum Einsatz gebracht werden und beide Kathodentypen mit unterschiedlichen Materialien belegt werden.
(EN)The invention relates to a method for operating a multi-cathode-PVD-coating system. According to the invention, one part of the cathodes operates after the high power impulse cathodic sputtering which is assisted by magnetic fields and the remainder operates after the direct current magnetic field assisted cathodic sputtering. The high power impulse cathodic sputtering which is assisted by magnetic fields is used as a source of multi-ionised metal ions during the ion-assisted in vacuo pre-treatment of substrates, whilst both types of cathodic sputtering are always used simultaneously during coating and whilst both types of cathodes are connected to different materials.
(FR)L'invention concerne un procédé pour le fonctionnement d'une installation de revêtement par dépôt physique en phase gazeuse à plusieurs cathodes, selon lequel une partie des cathodes fonctionne après la pulvérisation cathodique à impulsions haute puissance assistée par champ magnétique et le reste des cathodes fonctionne après la pulvérisation cathodique à courant continu assistée par champ magnétique. Seule la pulvérisation cathodique à impulsions haute puissance assistée par champ magnétique est utilisée comme source d'ions métalliques ionisés plusieurs fois pendant le traitement préalable assisté par ions du substrat in vacuo, alors que les deux types de pulvérisation cathodique sont toujours mis en oeuvre simultanément pendant le revêtement et que les deux types de cathodes sont enduits de matériaux différents.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)