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1. (WO2007008944) BELT CONVEYOR FOR USE WITH SEMICONDUCTOR CONTAINERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008944    International Application No.:    PCT/US2006/026978
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 10.07.2006
IPC:
B65G 15/12 (2006.01), B65G 47/26 (2006.01), B65G 43/10 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 48761 Kato Road, Fremont, CA 94538 (US) (For All Designated States Except US).
BONORA, Anthony, C. [US/US]; (US) (For US Only).
HINE, Roger, G. [US/US]; (US) (For US Only).
KROLAK, Michael [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BONORA, Anthony, C.; (US).
HINE, Roger, G.; (US).
KROLAK, Michael; (US)
Agent: SANFORD, Scott, D.; O'MELVENY & MYERS LLP, EMBARCADERO CENTER WEST, 275 Battery Street, San Francisco, CA 94111-3344 (US)
Priority Data:
60/698,124 11.07.2005 US
Title (EN) BELT CONVEYOR FOR USE WITH SEMICONDUCTOR CONTAINERS
(FR) TRANSPORTEUR A COURROIE UTILISE AVEC DES CONTENEURS DE SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)The present invention comprises a conveyor (100) for moving a semiconductor containers (2) throughout a fabrication facility. In one embodiment, the conveyor comprises a plurality of individually controlled conveyor zones (Z). Each conveyor zone includes a first belt (110), a second belt (112), a drive assembly (138) for rotating the first belt and the second belt at substantially the same speed. The first belt and the second belt are driven at substantially the same speed and movably support the container's bottom plate as the container moves along the conveyor. In another embodiment, the conveyor includes sensors (200) to determine, among other things, the position of the container.
(FR)La présente invention concerne un transporteur (100) destiné à déplacer des conteneurs de semi-conducteurs (2) dans une installation de fabrication. Dans un mode de réalisation, le transporteur comprend une pluralité de zones de transporteur (Z) commandées individuellement. Chaque zone de transporteur comprend une première courroie (110), une deuxième courroie (112), un ensemble d'entraînement (138) servant à faire tourner la première courroie et la deuxième courroie à substantiellement la même vitesse. La première courroie et la deuxième courroie sont entraînées à substantiellement la même vitesse et servent de support mobile à la plaque inférieure du conteneur lorsque celui-ci se déplace le long du transporteur. Dans un autre mode de réalisation, le transporteur comprend des capteurs (200) servant à déterminer, entre autres, la position du conteneur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)