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1. (WO2007008941) SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH AUTOMATED ALIGNMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008941    International Application No.:    PCT/US2006/026975
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 11.07.2006
Chapter 2 Demand Filed:    05.02.2007    
IPC:
G03B 27/58 (2006.01), G03B 27/62 (2006.01), G03B 27/32 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), G03B 27/42 (2006.01)
Applicants: BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US)
Inventors: HOFMEISER, Christopher; (US).
HOSEK, Martin; (US).
BEALE, Stuart; (US)
Agent: GREEN, Clarence, A.; Perman & Green, LLP 425 Post Road Fairfield, CT 06824 (US)
Priority Data:
60/698,223 11.07.2005 US
Title (EN) SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH AUTOMATED ALIGNMENT
(FR) APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT A ALIGNEMENT AUTOMATISE
Abstract: front page image
(EN)A substrate processing apparatus is provided with a substrate transport apparatus. The transport apparatus is used for automating alignment of the processing apparatus. In one aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to level parts of the processing apparatus. In another aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to determine the locations and angular orientations of substrate stations within a plane. In another aspect, the transport apparatus teaches itself the accurate location of a substrate aligner by repeatedly placing the substrate on the aligner, recording positional data, constructing a cost function, and determining the location of the aligner by minimizing the cost function using a numerical technique.
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement de substrat pourvu d'un appareil de transport de substrat. Cet appareil de transport est utilisé pour automatiser l'alignement de l'appareil de traitement. Selon un aspect, un capteur à faisceau continu sur l'appareil de transport est utilisé pour niveler des pièces de l'appareil de traitement. Selon un autre aspect, un capteur à faisceau continu sur l'appareil de transport est utilisé pour déterminer les emplacements et orientations angulaires des stations à substrat dans un plan. Selon encore un autre aspect, l'appareil de transport effectue lui-même son apprentissage de l'emplacement exact d'un aligneur de substrat en plaçant, à plusieurs reprises, le substrat sur l'aligneur, en enregistrant des données de position, en construisant une fonction de coût et en déterminant l'emplacement de l'aligneur par une minimisation de la fonction de coût au moyen d'une technique numérique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)