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Pub. No.:    WO/2007/008811    International Application No.:    PCT/US2006/026747
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 07.07.2006
Chapter 2 Demand Filed:    05.02.2007    
H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: MAURA, Jairo, T.; (US).
HOSEK, Martin; (US).
GILCHRIST, Ulysses; (US)
Agent: GREEN, Clarence, A.; PERMAN & GREEN, LLP 425 Post Card Fairfield, CT 06824 (US)
Priority Data:
11/179,745 11.07.2005 US
Abstract: front page image
(EN)A substrate aligner providing minimal substrate transporter extend and retract motions to quickly align substrate without back side damage while increasing the throughput of substrate processing. In one embodiment, the aligner having an inverted chuck connected to a frame with a substrate transfer system capable of transferring substrate from chuck to transporter without rotationally repositioning substrate. The inverted chuck eliminates aligner obstruction of substrate fiducials and along with the transfer system, allows transporter to remain within the frame during alignment. In another embodiment, the aligner has a rotatable sensor head connected to a frame and a substrate support with transparent rest pads for supporting the substrate during alignment so transporter can remain within the frame during alignment. Substrate alignment is performed independent of fiducial placement on support pads. In other embodiments the substrate support employs a buffer system for buffering substrate inside the apparatus allowing for fast swapping of substrates.
(FR)L'invention concerne un appareil d'alignement de substrat assurant des mouvements d'extension et de retrait minimums du transporteur de substrat, pour aligner rapidement un substrat sans abîmer la face arrière, tout en augmentant le débit de traitement du substrat. Dans un mode de réalisation de cette invention, l'appareil d'alignement comprend un mandrin inversé qui est relié à un châssis, ainsi qu'un système de transfert de substrat pouvant transférer le substrat du mandrin vers le transporteur sans repositionnement rotatif du substrat. Le mandrin inversé empêche l'obstruction des éléments d'alignement du substrat et, en association avec ledit système de transfert, ce mandrin inversé permet au transporteur de rester à l'intérieur du châssis lors de l'alignement. Dans un autre mode de réalisation de la présente invention, l'appareil d'alignement comprend une tête de détection rotative qui est reliée à un châssis, et un support de substrat comportant des pastilles d'appui transparentes pour supporter le substrat lors de l'alignement, de manière que le transporteur puisse rester à l'intérieur du châssis pendant le processus d'alignement. L'alignement du substrat est exécuté indépendamment du placement d'éléments d'alignement sur les pastilles de support. Dans d'autres modes de réalisation de l'invention, le support de substrat utilise un système d'amortissement servant à amortir le substrat à l'intérieur de l'appareil, ce qui permet une permutation rapide des substrats.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)