WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007008763) ACHIEVING CONVERGENT LIGHT RAYS EMITTED BY PLANAR ARRAY OF LIGHT SOURCES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008763    International Application No.:    PCT/US2006/026685
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 07.07.2006
IPC:
G01N 21/00 (2006.01)
Applicants: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 NW Science Park Drive, Portland, Oregon 97229-5497 (US) (For All Designated States Except US).
BALDWIN, Leo [CA/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BALDWIN, Leo; (US)
Agent: ANGELLO, Paul, S.; Stoel Rives, LLP, 900 S.W. Fifth Avenue, Suite 2600, Portland, Oregon 97204 (US)
Priority Data:
60/697,651 08.07.2005 US
Title (EN) ACHIEVING CONVERGENT LIGHT RAYS EMITTED BY PLANAR ARRAY OF LIGHT SOURCES
(FR) PROCEDE DE GENERATION DE RAYONS LUMINEUX CONVERGENTS EMIS PAR UN RESEAU PLANAIRE DE SOURCES LUMINEUSES
Abstract: front page image
(EN)Systems and methods are provided for achieving convergent light rays (123, 126) emitted by a planar array of light sources (118, 120). In one embodiment, an imaging device (200) is provided for inspecting semiconductors or other objects (116). The imaging device (200) includes one or more imaging lens (112) for imaging light reflected from an object (116). The imaging device (200) also includes a first light source (118) attached to a planar circuit board (212) and a second light source (120) attached to the planar circuit board (212). The imaging device (200) further includes a first Fresnel prism (214) for directing light from the first light source (118) toward the object (116) from a first direction and a second Fresnel prism (216) for directing light from the second light source (120) toward the object from a second direction. In one embodiment, the imaging device (300, 400) also includes one or more optical elements (310, 312, 410, 412) for increasing or decreasing the divergence of the light.
(FR)L'invention concerne des systèmes et des procédés de génération de rayons lumineux convergents (123, 126) émis par un réseau planaire de sources lumineuses (118, 120). Dans un mode de réalisation, un dispositif (200) d'imagerie permet d'examiner des semi-conducteurs ou d'autres objets (116). Le dispositif (200) d'imagerie comprend une ou plusieurs lentilles (112) d'imagerie permettant de mettre en images la lumière réfléchie à partir d'un objet (116). Le dispositif (200) d'imagerie comprend également une première source lumineuse (118) connectée à unecarte (212) de circuit planaire et une seconde source lumineuse (120) connectée à la carte (212) de circuit planaire. Le dispositif (200) d'imagerie comprend également un premier prisme (214) de Fresnel destiné à diriger la lumière de la première source lumineuse (118) vers l'objet (116) à partir d'une première direction, et un second prisme (216) de Fresnel destiné à diriger la lumière de la seconde source lumineuse (120) vers l'objet à partir d'une seconde direction. Dans un mode de réalisation, le dispositif (300, 400) d'imagerie comprend également un ou plusieurs éléments optiques (310, 312, 410, 412) permettant d'augmenter ou de réduire la divergence de la lumière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)