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1. (WO2007008561) OZONE SYSTEM FOR MULTI-CHAMBER TOOLS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008561    International Application No.:    PCT/US2006/026290
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 07.07.2006
IPC:
G05D 11/00 (2006.01), C01B 13/10 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Wilmington, MA 01887-4610 (US) (For All Designated States Except US).
BERKMAN, Vitaly, J. [US/US]; (US) (For US Only).
RYAN, Thomas, J. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: BERKMAN, Vitaly, J.; (US).
RYAN, Thomas, J.; (US)
Agent: VERNON, Deborah, M.; PROSKAUER ROSE LLP, One International Place, Boston, MA 02110 (US)
Priority Data:
60/697,802 07.07.2005 US
Title (EN) OZONE SYSTEM FOR MULTI-CHAMBER TOOLS
(FR) SYSTEME DE SURVEILLANCE DE LA CONCENTRATION D'OZONE DESTINE A DES OUTILS A CHAMBRES MULTIPLES
Abstract: front page image
(EN)An improved system and method for controlling ozone concentration in connection with a multi-chamber tool. The system and method involve a first and a second concentration controller in combination with an ozone generator. The first concentration controller detects an EVENT (i.e., one of the chambers in the multi-chamber tool coming on-line or off-line) and in response provides a power instruction to the ozone generator in accordance with a predictive control algorithm. The first concentration controller has a fast (i.e., about 1 second) response time. The second concentration controller is masked from the ozone generator during the EVENT, but otherwise controls the generator after an interval of time has lapsed after the EVENT. The second concentration controller has a slower response time than the first concentration controller, however the second concentration controller provides the system with long-term stability and can be used to provide updated data to the predictive control algorithm.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé améliorés de surveillance de la concentration d'ozone en liaison avec un outil à chambres multiples. Le système et le procédé comprennent des première et deuxième unités de commande de la concentration combinées à un générateur d'ozone. La première unité de commande de la concentration détecte un EVENEMENT (c'est-à-dire l'alignement ou le décalage d'une des chambres de l'outil à chambres multiples) et en réponse à ce dernier, envoie une instruction de puissance (mise en route) au générateur d'ozone conformément à un algorithme de contrôle prévisionnel. La première unité de commande de la concentration a un temps de réponse rapide (environ 1 seconde). La deuxième unité de commande de la concentration est cachée du générateur d'ozone pendant l'EVENEMENT mais commande le générateur après un intervalle de temps écoulé après l'EVENEMENT. La deuxième unité de commande de la concentration a un temps de réponse plus lent que la première unité de commande de la concentration, cependant la deuxième unité de commande de la concentration assure au système une stabilité sur le long terme et peut être utilisée pour fournir des données actualisées à l'algorithme de contrôle prévisionnel.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)