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1. (WO2007008538) SELF-CORRECTING MULTIVARIATE ANALYSIS FOR USE IN MONITORING DYNAMIC PARAMETERS IN PROCESS ENVIRONMENTS
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Pub. No.: WO/2007/008538 International Application No.: PCT/US2006/026236
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 05.07.2006
IPC:
G05B 23/02 (2006.01)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23
Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02
Electric testing or monitoring
Applicants:
MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way Wilmington, MA 01887-4610, US (AllExceptUS)
LEV-AMI, Uzi, Josef [IL/US]; US (UsOnly)
HENDLER, Lawrence [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
LEV-AMI, Uzi, Josef; US
HENDLER, Lawrence; US
Agent:
GERETY, Todd, A.; Proskauer Rose LLP One International Place Boston, MA 02110, US
Priority Data:
60/697,85907.07.2005US
Title (EN) SELF-CORRECTING MULTIVARIATE ANALYSIS FOR USE IN MONITORING DYNAMIC PARAMETERS IN PROCESS ENVIRONMENTS
(FR) ANALYSE MULTIVARIABLE A AUTOCORRECTION DESTINEES A DES PARAMETRES DYNAMIQUES DE SURVEILLANCE DANS DES ENVIRONNEMENTS DE TRAITEMENT
Abstract:
(EN) A method and apparatus for process monitoring are provided. Process monitoring includes (i) generating a multivariate analysis reference model of a process environment from data corresponding to monitored parameters of the process environment; (ii) designating at least one of the monitored parameters as being correlated to maturation of the process environment; (iii) collecting current process data corresponding to the monitored parameters, including the at least one designated parameter; and (iv) scaling the multivariate reference model based on the current process data of the at least one designated parameter to account for maturation of the process environment. The method further includes generating one or more current multivariate analysis process metrics that represent a current state of the process environment from the current process data; and comparing the current process metrics to the scaled reference model to determine whether the current state of the process environment is acceptable.
(FR) La présente invention concerne rendre l'ordre de un procéder et un appareil permettant de surveiller un traitement. La surveillance de traitement consiste (i) à générer un modèle de référence d'analyse multivariable d'un environnement de traitement à partir de données correspondant à des paramètres surveillés de cet environnement de traitement, (ii) à désigner au moins un de ces paramètres surveillés comme étant corrélé à la maturation de l'environnement de traitement, (iii) à recueillir des données du traitement courant correspondant aux paramètres surveillés, comprenant les paramètres désignés et, (iv) à calculer le modèle de référence multivariable à partir des données de traitement courant des paramètres désignés de façon à rendre compte de la maturation de l'environnement de traitement. Ce procédé consiste aussi à générer au moins une mesure de traitement d'analyse multivariable courant qui représente un état courant de l'environnement de traitement obtenu à partir des données de traitement courant et, à comparer ces mesures de traitement courant au modèle de référence calculé à fin de déterminer si l'état courant de l'environnement de traitement est acceptable.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
KR1020080040694EP1907908JP2009500853CN101238421