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1. (WO2007008438) SENSOR FOR PULSED DEPOSITION MONITORING AND CONTROL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008438    International Application No.:    PCT/US2006/025338
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 28.06.2006
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/52 (2006.01)
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 90 Industrial Way, Wilmington, MA 01887 (US) (For All Designated States Except US).
SPARTZ, Martin [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: SPARTZ, Martin; (US)
Agent: KUSMER, Toby, H.; MCDERMOTT WILL & EMERY LLP, 28 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Priority Data:
11/177,835 08.07.2005 US
Title (EN) SENSOR FOR PULSED DEPOSITION MONITORING AND CONTROL
(FR) CAPTEUR DE SURVEILLANCE ET DE COMMANDE DE DEPOT PULSE
Abstract: front page image
(EN)Delivery of gas by a pulsed gas delivery device is monitored using a sensor. The sensor may include a source that generates radiation at a spectral range that includes an absorption frequency of the gas being delivered. The radiation is transmitted through a receptacle into which the delivered gas has been received. A detector detects the intensity of the radiation that reaches the detector from the source after transmission through the gas in the receptacle. A controller measures a precise quantity of the gas that was delivered by the gas delivery device, by determining from the detected intensity the amount of the radiation that was absorbed by the gas in the receptacle. The controller monitors in real time the delivery of the gas, by adaptively adjusting the quantity of gas being delivered to a desired quantity. The sensor and controller can also monitor for failures or for out-of-specification behavior of the gas delivery device.
(FR)L'apport de gaz par un dispositif d'apport de gaz pulsé est surveillé au moyen d'un capteur. Ce capteur peut comprendre une source qui génère un rayonnement dans une plage spectrale qui comprend une fréquence d'absorption du gaz apporté. Ce rayonnement est émis à travers un réceptacle dans lequel le gaz apporté a été reçu. Un détecteur peut détecter l'intensité du rayonnement qui atteint le détecteur en provenance de la source après émission à travers le gaz dans le réceptacle. Un contrôleur mesure une quantité précise de gaz qui a été apportée par le dispositif d'apport de gaz, par détermination à partir de l'intensité détectée de la quantité de rayonnement qui a été absorbée par le gaz dans le réceptacle. Ce contrôleur surveille en temps réel l'apport de gaz, par un réglage adaptatif de la quantité de gaz apporté dans une quantité souhaitée. Le capteur et le contrôleur peuvent aussi surveiller les erreurs ou les comportements hors des spécifications de ce dispositif d'apport de gaz.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)