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1. (WO2007008383) DETACHABLE EDGE RING FOR THERMAL PROCESSING SUPPORT TOWERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/008383    International Application No.:    PCT/US2006/024716
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 26.06.2006
IPC:
C30B 11/00 (2006.01), B65D 85/00 (2006.01)
Applicants: INTEGRATED MATERIALS, INC. [US/US]; 1169 Borregas Avenue, Sunnyvale, California 94087 (US) (For All Designated States Except US).
CADWELL, Tom, L. [US/US]; (US) (For US Only).
ZEHAVI, Ranaan [IL/US]; (US) (For US Only).
SKYLAR, Michael [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CADWELL, Tom, L.; (US).
ZEHAVI, Ranaan; (US).
SKYLAR, Michael; (US)
Agent: GUENZER, Charles, S.; Law Offices Of Charles Guenzer, 2211 Park Boulevard, P.O. Box 60729, Palo Alto, California 94306 (US)
Priority Data:
60/697,895 08.07.2005 US
60/721,926 29.09.2005 US
11/329,971 11.01.2006 US
Title (EN) DETACHABLE EDGE RING FOR THERMAL PROCESSING SUPPORT TOWERS
(FR) JONC DE BORDURE DETACHABLE POUR TOURS DE SUPPORT DE TRAITEMENT THERMIQUE
Abstract: front page image
(EN)An edge ring (152) for use in batch thermal processing of wafers (30) supported on a vertical tower (140) within a furnace (160). The edge rings are have a width approximately overlapping the periphery of the wafers and are detachably supported on the towers equally spaced between the wafer to reduce thermal edge effects. The edge rings have may have internal or external recesses to interlock with structures on or adjacent the fingers of the tower legs (142, 144, 146) supporting the wafers or one or more steps formed on the lateral sides of the edge ring may slide over and then fall below a locking ledge associated with the support fingers. Preferably, the tower and edge ring and other parts (168, 180) of the furnace adjacent the hot zone are composed of silicon.
(FR)L'invention concerne un jonc de bordure (152) destiné à être utilisé dans un traitement thermique fractionné de plaquettes (30) disposées dans une tour verticale (140) à l'intérieur d'un four (160). Les joncs de bordure ont une largeur qui chevauche approximativement le pourtour des plaquettes et sont disposés de façon détachable sur les tours de manière équidistante entre les plaquettes afin de réduire les effets de bordure thermique. Les joncs de bordure peuvent présenter des évidements intérieurs ou extérieurs destinés à permettre un emboîtement avec des structures situés sur ou à côté des doigts des jambes des tours (142, 144, 146) comportant les plaquettes ou un ou plusieurs échelons formés sur les côtés du jonc de bordure peuvent coulisser sur un rebord de verrouillage puis tomber sous ce rebord de verrouillage associé aux doigts de support. De préférence, la tour et le jonc de bordure et d'autres parties (168, 180) du four adjacentes à la zone chaude sont composées de silicium.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)