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1. (WO2007007580) VIBRATION ISOLATION DEVICE AND VIBRATION ISOLATION METHOD
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請求の範囲

[1] 除振対象物を支持する支持機構が、ァクチユエータを備えた能動型の第 1の支持 機構と、前記第 1の支持機構と直列に配置された低剛性の第 2の支持機構と、前記 第 2の支持機構の変位を測定する測定手段とを有し、前記第 1の支持機構のァクチ ユエータの変位が、前記測定手段の測定結果に基づ、て前記第 2の支持機構の変 位を相殺するように制御されることを特徴とする除振装置。

[2] 請求項 1に記載の除振装置であって、前記第 1の支持機構と前記第 2の支持機構 とが、前記第 1の支持機構の上方に前記第 2の支持機構が位置するように、垂直方 向に直列に配置されていることを特徴とする除振装置。

[3] 請求項 1に記載の除振装置であって、前記第 1の支持機構と前記第 2の支持機構 とが、前記第 2の支持機構の上方に前記第 1の支持機構が位置するように、垂直方 向に直列に配置されていることを特徴とする除振装置。

[4] 請求項 1に記載の除振装置であって、前記第 1の支持機構と前記第 2の支持機構 とが水平方向に直列に配置されていることを特徴とする除振装置。

[5] 床に対して、ァクチユエータを備えた能動型の第 1の支持機構で支持された中間台 と、該中間台に対して、低剛性の第 2の支持機構で支持された除振テーブルと、前記 第 2の支持機構の変位を測定する測定手段と、前記測定手段の測定結果に基づ!/ヽ て前記第 2の支持機構の変位を相殺するように前記第 1の支持機構のァクチユエ一 タの変位を制御する制御手段とを備えることを特徴とする除振装置。

[6] 床に対して、低剛性の第 2の支持機構で支持された中間台と、該中間台に対して、 ァクチユエータを備えた能動型の第 1の支持機構で支持された除振テーブルと、前 記第 2の支持機構の変位を測定する測定手段と、前記測定手段の測定結果に基づ いて前記第 2の支持機構の変位を相殺するように前記第 1の支持機構のァクチユエ ータの変位を制御する制御手段とを備えることを特徴とする除振装置。

[7] 請求項 1〜6に記載の除振装置であって、前記第 1の支持機構のァクチユエータが 、ボイスコイルモータまたは圧電ァクチユエータであり、前記第 2の支持機構が、機械 パネまたは空気パネであることを特徴とする除振装置。

[8] ァクチユエータを備えた能動型の第 1の支持機構と、前記第 1の支持機構と直列に 配置された低剛性の第 2の支持機構とで除振対象物を支持することにより、除振対象 物に作用する直動外乱を抑制し、床力除振対象物に伝わる地動外乱を遮断する 除振方法であって、

前記第 2の支持機構の変位を測定し、その測定結果に基づいて、前記第 2の支持 機構の変位を相殺するように、前記第 1の支持機構のァクチユエータの変位を制御 することを特徴とする除振方法。