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1. WO2007006834 - SYSTEM AND METHOD FOR THE INSPECTION OF MICRO AND NANOMECHANICAL STRUCTURES

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

REIVINDICACIONES
1. - Un sistema para la inspección de superficies configurado para detectar características de desplazamiento relativo y/o de vibración de diversos puntos de varios elementos (51) que forman parte de una estructura mecánica (5), compuesto dicho sistema de:
una fuente de luz (l) configurada para generar, al menos, un haz de luz (11) ;
un detector sensible a la posición (2) configurado para recibir el haz de luz cuando se refleja de la estructura mecánica (5) y para generar, al menos, una señal de salida en respuesta a la recepción de dicho haz de luz;
un sistema de control electrónico (3) ;
un medio de exploración (4) para el desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) con el fin de explorar dicha estructura mecánica con el haz de luz, siguiendo las instrucciones del sistema de control electrónico (3);
donde dicho sistema de control electrónico (3) está configurado para controlar el medio de exploración (4) con el fin de desplazar el haz de luz por la estructura mecánica a lo largo de una primera trayectoria (A) con objeto de detectar varias posiciones de referencia subsiguientes (C) a lo largo de dicha primera trayectoria

(A) , donde dicho sistema de control electrónico (3) está asociado operativamente con dicho detector sensible a la posición (2) para determinar dichas posiciones de referencia (C) como resultado de un análisis de, al menos, una señal de salida de dicho detector sensible a la posición (2) ;
donde dicho sistema de control electrónico (3) está configurado además para controlar el medio de exploración (4) para desplazar el haz de luz por la estructura mecánica a lo largo de varias segundas trayectorias (B) , estando asociada cada una de dichas segundas trayectorias (B) con una de dichas posiciones de referencia (C) ;
dicho sistema de control electrónico se ocupa además de obtener, durante el desplazamiento del haz de luz a lo

5 largo de cada una de dichas segundas trayectorias (B) , varias salidas de señales de posición de dicho detector sensible a la posición (2) .
2.- Un sistema de acuerdo con la reivindicación 1, en el que el sistema de control electrónico (3) está asociado

10 operativamente con dicho detector sensible a la posición

(2) para determinar dichas posiciones de referencia (C) como resultado de un análisis de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
15 3.- Un sistema de acuerdo con la reivindicación 2, en el que el sistema de control electrónico (3) está asociado operativamente con dicho detector sensible a la posición (2) para determinar que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponda con un

20 máximo local de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
4. - Un sistema de acuerdo con la reivindicación 2 , en el que el sistema de control electrónico (3) está asociado

25 operativamente con dicho detector sensible a la posición

(2) para determinar que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponda con un mínimo local de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la

30 posición (2) .
5. - Un sistema de acuerdo con la reivindicación 2 , en el que el sistema de control electrónico (3) está asociado operativamente con dicho detector sensible a la posición (2) para determinar que una posición es una posición de

35. referencia cuando dicha posición se corresponda con un máximo local de la pendiente de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
6. - Un sistema de acuerdo con la reivindicación 2 , en el

5 que el sistema de control electrónico (3) está asociado operativamente con dicho detector sensible a la posición

(2) para determinar que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponda con una posición que tiene una relación especificada con las

10 posiciones correspondientes a máximos y/o mínimos locales de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
7. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 2-6, en el que la amplitud de, al menos,

15 una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) es indicativa de la intensidad del haz de luz recibido, por dicho detector sensible a la posición (2) .
8. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las

20 reivindicaciones anteriores, en el que dicho sistema de control electrónico está configurado para:
desplazar el haz de luz a lo largo de dicha primera trayectoria (A) ;
al detectar una posición de referencia (C) , 25 interrumpir el desplazamiento del haz de luz a lo largo de dicha primera trayectoria (A) y, en su lugar, desplazar el haz de luz a lo largo de una segunda trayectoria (B) correspondiente a dicha posición de referencia (C) ;
30 posteriormente, continuar el desplazamiento del haz de luz por dicha primera trayectoria hasta detectar una posterior posición de referencia (C) .
9. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1-7, en el que dicho sistema de control

35. electrónico (3) está configurado para: desplazar el haz de luz por dicha primera trayectoria (A) hasta alcanzar un extremo de dicha primera trayectoria (A) , mientras registra posteriores posiciones de referencia (C) ;
luego, tras alcanzar el extremo de dicha primera trayectoria (A) , posteriormente desplazando el haz de luz por las segundas trayectorias (B) correspondientes a las posiciones de referencia registradas (C) ;
10.- Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que dichas segundas trayectorias (B) incluyen un considerable número de puntos de cada elemento o una región de cada elemento con el fin de obtener un trazado global de la superficie de la pendiente, el desplazamiento y/o la vibración de dicho elemento o dicha región de dicho elemento.
11. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que la primera trayectoria (Á) es básicamente una trayectoria recta en una primera dirección.
12.- Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que dichas segundas trayectorias (B) son básicamente trayectorias rectas en sentido básicamente perpendicular a la primera trayectoria (A) .
13,- Un sistema de acuerdo con las reivindicaciones 1-11, en el que dichas segundas trayectorias (B) son básicamente trayectorias rectas en sentido básicamente paralelo a la primera trayectoria (A) .
14. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1-10, en el que la primera y/o segundas trayectorias son trayectorias serpenteantes y/o zigzagueantes .
15. - Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en el que la estructura mecánica (5) es una matriz de cantilevers y en el que los elementos (51) son cantilevers de dicha matriz de cantilevers .
16.- Un sistema de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, estando configurado dicho sistema además para almacenar y/o tratar las señales de salida de dichas posiciones como datos indicativos de características de desplazamiento y/o vibración de la superficie de un correspondiente elemento (51) de la estructura mecánica (5) , a lo largo de las correspondientes segundas trayectorias (B) .
17.- Un método de inspección de superficies para detectar características de desplazamiento relativo y/o de vibración de diversos puntos de varios elementos (51) que forman parte de una estructura mecánica (5) , compuesto dicho método de las fases de:
dirigir un haz de luz (11) hacia dicha estructura mecánica (5) y producir un desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) para explorar dicha estructura mecánica (5) con el haz de luz;
recibir un haz de luz reflejado de dicha estructura mecánica (5) , con un detector sensible a la posición (2) configurado para producir, al menos, una señal de salida en respuesta a la recepción de dicho haz de luz;
donde la fase para producir un desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) se realiza de modo que el haz de luz se desplace por la estructura mecánica a lo largo de una primera trayectoria (A) , el método comprende además una fase de detección de varias posiciones de referencia subsiguientes (C) a lo largo de dicha primera trayectoria (A) , siendo determinadas dichas posiciones de referencia (C) por, al menos, una señal de salida de dicho detector sensible a la posición (2) ;
en el que la fase de producción de un desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica se lleva a cabo además para desplazar también el haz de luz por la estructura mecánica a lo largo de varias segundas trayectorias (B) , siendo asociada cada 5 una de dichas segundas trayectorias (B) con una de dichas posiciones de referencia (C) ;
en el que el método incluye además obtener, durante el desplazamiento del haz de luz a lo largo de cada una de dichas segundas trayectorias (B) , varias señales de

10 salida de posición de dicho detector sensible a la posición (2) .
18.- Un método de acuerdo con la reivindicación 17, en el que dichas posiciones de referencia (C) son determinadas mediante el análisis de la amplitud de, al menos, una de

15 dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
19.- Un método de acuerdo con la reivindicación 18, en el que se determina que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponde con un

20 máximo local de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
20.- Un método de acuerdo con la reivindicación 18, en el que se determina que una posición es una posición de 25 referencia cuando dicha posición se corresponde con un mínimo local de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
21.- Un método de acuerdo con la reivindicación 18, en el

30 que se determina que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponde con un máximo local de la pendiente de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
35. 22.- Un método de acuerdo con la reivindicación 18, en el que se determina que una posición es una posición de referencia cuando dicha posición se corresponde con una posición que guarda una relación especificada con posiciones correspondientes a máximos y/o mínimos locales 5 de la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector sensible a la posición (2) .
23.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-22, en el que la amplitud de, al menos, una de dichas señales de salida de dicho detector

10 sensible a la posición (2) es indicativa de la intensidad del haz de luz recibido por el detector sensible a la posición (2) .
24. - Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-23, en el que la fase de producción

15 de un desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) se realiza de modo que:
el haz de luz es desplazado a lo largo de dicha primera trayectoria (A) ;
20 al detectar una posición de referencia (C) , el desplazamiento del haz de luz a lo largo de dicha primera trayectoria (A) es interrumpido y, en su lugar, el haz de luz es desplazado a lo largo de una segunda trayectoria (B) correspondiente a dicha posición de referencia (C) ; 25 posteriormente, se continúa con el desplazamiento del haz de luz por dicha primera trayectoria hasta detectar una posterior posición de referencia (C) .
25.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-23, en el que la fase de producción

30 de un desplazamiento relativo de dicho haz de luz con relación a la estructura mecánica (5) se realiza de modo que :
el haz de luz es desplazado por dicha primera trayectoria (A) hasta alcanzar un extremo de dicha

35. primera trayectoria (A) , mientras registra posteriores posiciones de referencia (C) ;
luego, tras alcanzar el extremo de dicha primera trayectoria (A) , el haz de luz es desplazado posteriormente por las segundas trayectorias (B)

5 correspondientes a las posiciones de referencia registradas (C) ;
26.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-25, en el que dichas segundas trayectorias (B) incluyen un considerable número de 10 puntos de cada elemento o una región de cada elemento con el fin de obtener un trazado global de la superficie de la pendiente, el desplazamiento y/o la vibración de dicho elemento o dicha región de dicho elemento.
27.- Un método de acuerdo con cualquiera de las 15 reivindicaciones 17-26, en el que la primera trayectoria

(A) es básicamente una trayectoria recta en una primera dirección.
28.- Un método de acuerdo con las reivindicaciones 17-27, en el que dichas segundas trayectorias (B) son

20 básicamente trayectorias rectas en sentido básicamente perpendicular a la primera trayectoria (A) .
29.- Un método de acuerdo con las reivindicaciones 17-27, en el que dichas segundas trayectorias (B) son básicamente trayectorias rectas en sentido básicamente 25 paralelo a la primera trayectoria (A) .
30.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-26, en el que la primera y/o segundas trayectorias son trayectorias serpenteantes y/o zigzagueantes .
30 31.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-30, en el que la estructura mecánica (5) es una matriz de cantilevers y en el que los elementos (51) son cantilevers de dicha matriz de cantilevers.
35. 32.- Un método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-31, estando compuesto dicho sistema además por la fase de almacenar y/o tratar las señales de salida de dichas posiciones como datos indicativos de características de desplazamiento y/o vibración de la superficie de un correspondiente elemento (51) de la estructura mecánica (5) , a lo largo de las correspondientes segundas trayectorias (B) .
33.- Un programa compuesto por instrucciones de programa para hacer que un sistema electrónico programable lleve a cabo el método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 17-32, cuando el programa se ejecuta en dicho sistema electrónico programable.
34.- Un programa de acuerdo con la reivindicación 33, incorporado en un soporte de grabación.