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1. (WO2007006706) DEVICE FOR INSPECTING A SURFACE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2007/006706 International Application No.: PCT/EP2006/063913
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 05.07.2006
Chapter 2 Demand Filed: 20.01.2007
IPC:
G01N 21/88 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
Applicants:
KOENIG & BAUER AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Friedrich-Koenig-Str. 4 97080 Würzburg, DE (AllExceptUS)
STÖBER, Bernd, Rüdiger [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors:
STÖBER, Bernd, Rüdiger; DE
Common
Representative:
KOENIG & BAUER AKTIENGESELLSCHAFT; Lizenzen - Patente Friedrich-Koenig-Str. 4 97080 Würzburg, DE
Priority Data:
102005031957.208.07.2005DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINER OBERFLÄCHE
(EN) DEVICE FOR INSPECTING A SURFACE
(FR) APPAREIL POUR INSPECTER UNE SURFACE
Abstract:
(DE) Es wird eine Vorrichtung zur Inspektion einer Oberfläche vorgeschlagen, wobei ein Inspektionssystem mit einer optischen Einrichtung zur Aufnahme des von der zu inspizierenden Oberfläche reflektierten Lichts und mit einem mindestens zwei Lichtquellen aufweisenden Beleuchtungssystem vorgesehen ist, wobei die optische Einrichtung und das Beleuchtungssystem mit einer Steuereinheit verbunden sind, wobei die Lichtquellen in einem Abstand voneinander beabstandet angeordnet sind, wobei die Lichtquellen jeweils Licht in einen an der zu inspizierenden Oberfläche vorgesehenen Erfassungsbereich der optischen Einrichtung emittieren, wobei die optische Einrichtung auf die zu inspizierende Oberfläche gerichtet ist, wobei mindestens eine der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen des Beleuchtungssystems jeweils in mehrere einzelne Lichtquellen unterteilt ist, wobei die Steuereinheit mindestens zwei der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen des Beleuchtungssystems und/oder die einzelnen Lichtquellen von mindestens einer der im Abstand voneinander angeordneten Lichtquellen jeweils wahlweise und unabhängig voneinander ansteuert, wobei der Erfassungsbereich der optischen Einrichtung in einer Bewegungsebene der relativ zu dem Inspektionssystem durch diesen Erfassungsbereich hindurchbewegten zu inspizierenden Oberfläche liegt, wobei sich der Abstand der Lichtquellen des Beleuchtungssystems in der Bewegungsrichtung der zu inspizierenden Oberfläche erstreckt, wobei die einzelnen Lichtquellen von mindestens einer dieser Lichtquellen quer zur Bewegungsrichtung der zu inspizierenden Oberfläche angeordnet sind.
(EN) The invention relates to a device for inspecting a surface, comprising an inspection system that consists of an optical unit for registering the light that is reflected by the surface to be inspected and an illumination system that comprises at least two light sources. According to the invention: the optical unit and the illumination system are connected to a control unit; the light sources are arranged at a distance from one another; the respective light sources emit light in a recording region of the optical unit that is provided on the surface to be inspected; the optical unit is oriented towards the surface to be inspected; and at least one of the illumination system light sources that are arranged at a distance from one another, is sub-divided into several individual light sources. The control unit controls at least two of the respective illumination system light sources that are arranged at a distance from one another and/or the respective individual light sources of at least one of the sources that are arranged at a distance from one another selectively and independently of one another. The recording region of the optical unit lies on a displacement plane of the surface to be inspected, said surface being displaced through the recording region in relation to the inspection system. The distance between the light sources of the illumination system extends in the displacement direction of the surface to be inspected and the individual light sources of at least one of said sources are arranged transversally to the displacement direction of the surface to be inspected.
(FR) L'invention concerne un appareil pour inspecter une surface, cet appareil comprenant un système d'inspection pourvu d'un dispositif optique servant à capter la lumière réfléchie par la surface à inspecter et pourvu par ailleurs d'un système d'éclairage comprenant au moins deux sources de lumière. Le dispositif optique et le système d'éclairage sont reliés à une unité de commande. Les sources de lumière sont espacées et elles émettent chacune de la lumière dans une zone de couverture du dispositif optique située au niveau de la surface à inspecter. Le dispositif optique est dirigé vers la surface à inspecter. Au moins une des sources de lumière espacées du système d'éclairage est divisée en plusieurs sources de lumière individuelles. L'unité de commande commande alternativement et indépendamment au moins deux des sources de lumière espacées du système d'éclairage et/ou les sources de lumière individuelles d'au moins une des sources de lumière espacées. La zone de couverture du dispositif optique se situe dans un plan de déplacement de la surface à inspecter déplacée à travers cette zone de couverture par rapport au système d'inspection. La distance entre les sources de lumière du système d'éclairage s'étend dans le sens de déplacement de la surface à inspecter et les sources de lumière individuelles d'au moins une de ces sources de lumière sont disposées perpendiculairement au sens de déplacement de la surface à inspecter.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP1902308US20090109430CN101371131IN283/KOLNP/2008