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1. (WO2007006541) METHOD AND ARRANGEMENT FOR EXAMINING AN OBJECT TO BE MEASURED BY MEANS OF INVASIVE RADIATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/006541    International Application No.:    PCT/EP2006/006757
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 06.07.2006
IPC:
G01N 23/04 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 22, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
ENGEL, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ENGEL, Thomas; (DE)
Agent: BRUNOTTE, Joachim; Bressel und Partner, Radickestrasse 48, 12489 Berlin (DE)
Priority Data:
10 2005 033 533.0 14.07.2005 DE
Title (DE) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM UNTERSUCHEN EINES MESSOBJEKTS MITTELS INVASIVER STRAHLUNG
(EN) METHOD AND ARRANGEMENT FOR EXAMINING AN OBJECT TO BE MEASURED BY MEANS OF INVASIVE RADIATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR INSPECTER UN OBJET DE MESURE A L'AIDE D'UN RAYONNEMENT INVASIF
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Untersuchen eines Messobjekts (1), das industriell und/oder handwerklich hergestellt wurde. Das Messobjekt (1) weist eine Mehrzahl von verschiedenen Materialien auf, zumindest zwei verschiedene Materialien. Es werden erwartete Materialeigenschaften von zumindest zwei verschiedenen Materialien des Messobjekts (1) festgestellt. Die erwarteten Materialeigenschaften werden bei einer Auslegung und/oder Einstellung einer Messanordnung verwendet, wobei die Messanordnung zumindest eine Strahlungsquelle (2) zur Erzeugung invasiver Strahlung und eine strahlungsempfindliche Sensoreinrichtung (3) zur Detektion von Strahlung nach einer Wechselwirkung der invasiven Strahlung mit dem Messobjekt aufweist und wobei die Messanordnung unter Berücksichtigung der erwarteten Eigenschaften so ausgelegt und/oder eingestellt wird, dass unterschiedliche Wechselwirkungen der invasiven Strahlung mit zumindest zwei verschiedenen Materialien des Messobjekts (1) von den Sensoreinrichtungen (3) detektiert werden können. Die unterschiedlichen Wechselwirkungen bestehen auf Grund spektral unterschiedlicher Materialeigenschaften der verschiedenen Materialien. Ein Ergebnis der unterschiedlichen Wechselwirkungen der invasiven Strahlung wird mittels der Sensoreinrichtung (3) detektiert.
(EN)The invention relates to a method and an arrangement for examining an object to be measured (1) that has been industrially and/or manually produced. Said object to be measured (1) comprises a plurality of, or at least two, different materials. Expected material properties of at least two different materials of the object to be measured (1) are determined. The expected material properties are used for the design and/or adjustment of a measuring arrangement comprising at least one radiation source (2) for generating invasive radiation and a radiation-sensitive sensor device (3) for detecting radiation following interaction of the invasive radiation with the object to be measured. Furthermore, the measuring arrangement is designed and/or adjusted taking into account the expected properties in such a way that different interactions of the invasive radiation with at least two different materials of the object to be measured (1) can be detected by the sensor devices (3). The different interactions are generated by spectrally different material properties of the different materials. A result of the different interactions of the invasive radiation is detected by means of the sensor device (3).
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour inspecter un objet de mesure (1) produit industriellement ou artisanalement. L'objet de mesure (1) comprend plusieurs matériaux différents, à savoir au moins deux matériaux différents. Des propriétés de matériau escomptées d'au moins deux matériaux différents de l'objet de mesure (1) sont déterminées. Ces propriétés de matériau escomptées sont utilisées pour concevoir et/ou ajuster un dispositif de mesure qui comprend au moins une source de rayonnement (2) destinée à générer un rayonnement invasif, ainsi qu'un dispositif de détection (3) sensible au rayonnement destiné à détecter un rayonnement suite à une interaction entre le rayonnement invasif et l'objet de mesure. Ledit dispositif mesure est en outre configuré et/ou ajusté avec prise en compte des propriétés escomptées, de manière que différentes interactions entre le rayonnement invasif et au moins deux matériaux différents de l'objet de mesure (1) puissent être détectées par les dispositifs de détection (3). Ces différentes interactions sont fondées sur des propriétés spectralement différentes des différents matériaux. Un résultat des différentes interactions du rayonnement invasif est détecté au moyen du dispositif de détection (3).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)