WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007006166) DEVICE FOR STORING SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/006166    International Application No.:    PCT/CH2006/000356
Publication Date: 18.01.2007 International Filing Date: 06.07.2006
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: TEC-SEM AG [CH/CH]; Lohstampfestrasse 11, CH-8274 Tägerwilen (CH) (For All Designated States Except US).
JAEGER, Erich [CH/CH]; (CH) (For US Only).
BALG, Christian [DE/CH]; (CH) (For US Only)
Inventors: JAEGER, Erich; (CH).
BALG, Christian; (CH)
Agent: KLEIN, Friedrich, J.; Klein & Klein, Industriestrasse 24, Postfach 2153, CH-6302 Zug (CH)
Priority Data:
1150/05 09.07.2005 CH
Title (DE) VORRICHTUNG ZUR LAGERUNG VON SUBSTRATEN
(EN) DEVICE FOR STORING SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF POUR STOCKER DES SUPPORTS
Abstract: front page image
(DE)Bei einer Vorrichtung zum Lagern von plattenförmigen Substraten (8) , insbesondere von Wafern- oder Testwafern, wie sie vor allem in der Fertigung von elektronischen Bauteilen vorkommen, soll ein sicherer Zugriff auf die Substrate (8) auch dann möglich sein, wenn voneinander separierbare Lagerunselemente (1) der Vorrichtung mit Fertigungsungenauigkeiten behaftet sind. Für eine solche Vorrichtung, die mehrere in einer Stapelrichtung aufeinander folgende und relativ zueinander bewegliche Lagerungselemente (1) für jeweils ein Substrat (8) aufweist, bei der die Lagerungselemente (1) einen Stapelbereich (2) aufweisen, der zur Anordnung des jeweiligen Lagerungselements (1) innerhalb eines Stapels (3) von Lagerungselementen (1) vorgesehen ist, werden deshalb Kompensationsmittel (5) zum Ausgleich von Stapelfehlern in Stapelrichtung vorgeschlagen.
(EN)The invention relates to a device for storing platelike substrates (8), particularly wafers or test wafers, like those, in particular, used for manufacturing electronic components. The aim of the invention is to make a reliable access to the substrates (8) possible even when storage elements (1), which can be separated from one another, of the device are affected by manufacturing mistakes. For such a device that, for each substrate (8), has a number of storage elements (1), which follow one another in a direction of stacking and which can move relative to one another, in which the storage elements (1) have a stacking area (2), which is provided for placing the respective storage element (1)inside a stack (3) of storage elements (1), compensating means (5) are therefore provided in order to compensate for stacking errors in the direction of stacking.
(FR)L'invention concerne un dispositif pour stocker des supports en forme de plaques, notamment des tranches de silicium ou des tranches d'essai, qui sont utilisées avant tout dans la fabrication d'éléments électroniques. L'invention vise à créer un dispositif permettant un accès fiable aux supports, même lorsque des éléments de stockage du dispositif pouvant être séparés sont entachés de défauts de fabrication. A cet effet, le dispositif, qui comporte plusieurs éléments de stockage superposés dans un sens de superposition et mutuellement mobiles pour chacun des supports, ces éléments de stockage présentant une zone de superposition qui sert à la disposition de chaque élément de stockage à l'intérieur d'une pile d'éléments de stockage, est doté d'éléments de compensation pour neutraliser les défauts de superposition dans le sens de superposition.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)