WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007005461) EXHAUST APPARATUS PRESSURE CONTROL SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/005461    International Application No.:    PCT/US2006/025159
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 27.06.2006
IPC:
G05D 16/20 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: ADVANCED ENERGY INDUSTRIES INC. [US/US]; 1625 Sharp Point Drive, Fort Collins, CO 80525 (US) (For All Designated States Except US).
NAMBU, Masahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAMBU, Masahiro; (JP)
Agent: PIRNOT, John, D.; ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC., 1625 Sharp Point Drive, Fort Collins, CO 80525 (US)
Priority Data:
JP2005-195315 04.07.2005 JP
Title (EN) EXHAUST APPARATUS PRESSURE CONTROL SYSTEM
(FR) SYSTEME DE COMMANDE DE PRESSION D'UN APPAREIL D'ECHAPPEMENT
Abstract: front page image
(EN)A pressure control system (10) comprises a main body (20) comprising an intake port (22), a discharge port (24), and a pilot chamber (30), a spool (40) that is attached to the upper part of the main body (20) by a spring (48) and held so that it can slide in the axial direction relative to the sliding surfaces (29a, 29b), an absolute pressure sensor (SA) for detecting the pressure of a gas at the intake port (22) and a differential pressure sensor (SB) for detecting the difference between the difference between the atmospheric pressure and the pressure of the gas at the intake port (22), a control valve (V) for supplying a pressure regulating gas to the pilot chamber (30), and a control circuit (C) for sending switching signals for the sensors SA and SB, and driving the control valve (V) based on the output from each of the sensors (SA. SB).
(FR)Cette invention vise à produire un système de commande de pression d'un appareil d'échappement qui présente d'excellentes propriétés de réactivité, de stabilité et de précision face aux variations de débit de gaz de commande et qui permet d'empêcher les particules d'entrer lorsque la chambre est ouverte sur l'atmosphère. Cette invention concerne un système de commande de pression (10) qui comprend un corps principal (20) comprenant un orifice d'admission (22), un orifice d'évacuation (24) et une chambre pilote, une bobine qui est fixée sur la partie supérieure du corps principal (20) par un ressort (48) et tenue de façon qu'elle puisse coulisser dans la direction axiale par rapport aux surfaces de coulissement (29a, 29b), un capteur de pression absolue SA permettant de détecter la pression d'un gaz au niveau de l'orifice d'admission (22) et un capteur de pression différentielle SB permettant de détecter la différence entre la pression atmosphérique et la pression du gaz au niveau de l'orifice d'admission (22), une soupape de commande V permettant d'introduire un gaz de régulation de pression dans la chambre pilote, et un circuit de commande permettant d'envoyer des signaux de commutation aux capteurs SA et SB et de commander la soupape de commande V sur la base du résultat de chacun des capteurs SA et SB. Pendant la formation d'un film, la pression P1 au niveau de l'orifice d'admission (22) détectée par le capteur de pression absolue SA est envoyée au circuit de commande C, ce qui permet de commander la pression absolue au niveau de l'orifice d'admission (22). Lorsque la chambre est ouverte, un signal de commutation de capteur est émis, le résultat du capteur de pression différentielle SB est envoyé et la pression à l'intérieur de la chambre est ramenée à la pression atmosphérique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)