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1. (WO2007005415) LPP EUV LIGHT SOURCE DRIVE LASER SYSTEM
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Pub. No.: WO/2007/005415 International Application No.: PCT/US2006/024960
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 27.06.2006
IPC:
G01J 1/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1
Photometry, e.g. photographic exposure meter
Applicants:
CYMER, INC. [US/US]; 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413, US (AllExceptUS)
ERSHOV, Alexander, I. [US/US]; US (UsOnly)
BYKANOV, Alexander, N. [RU/US]; US (UsOnly)
KHODYKN, Oleh [UA/US]; US (UsOnly)
FOMENKOV, Igor, V. [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
ERSHOV, Alexander, I.; US
BYKANOV, Alexander, N.; US
KHODYKN, Oleh; US
FOMENKOV, Igor, V.; US
Agent:
CRAY, William, C.; CYMER, INC. LEGAL DEPT., MS/4-2C 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413, US
Priority Data:
11/174,29929.06.2005US
11/217,16131.08.2005US
Title (EN) LPP EUV LIGHT SOURCE DRIVE LASER SYSTEM
(FR) SYSTEME LASER PILOTE DE SOURCE LUMINEUSE ULTRAVIOLETTE EXTREME A PLASMA PRODUIT PAR LASER (LPP)
Abstract:
(EN) An apparatus and method is disclosed which may comprise a laser produced plasma EUV system which may comprise a drive laser producing a drive laser beam (fig. 4, 172); a drive laser beam first path having a first axis; a drive laser redirecting mechanism (fig. 4, 170) transferring the drive laser beam from the first path to a second path, the second path having a second axis; an EUV collector optical element (fig. 4, 30) having a centrally located aperture; and a focusing mirror (fig. 4, 180) in the second path and positioned within the aperture and focusing the drive laser beam onto a plasma initiation site located along the second axis (fig. 4, 28). The apparatus and method may comprise the drive laser beam is produced by a drive laser having a wavelength such that focusing on an EUV target droplet of less than about 100 &mgr;m at an effective plasma producing energy if not practical in the constraints of the geometries involved utilizing a focusing lens. The drive laser may comprise a CO2 laser. The drive laser redirecting mechanism may comprise a mirror.
(FR) L'invention concerne un appareil et une méthode pouvant comprendre un système d'UV extrême à plasma produit par laser (LPP), pouvant comprendre un laser pilote produisant un faisceau laser pilote; une première trajectoire de faisceau laser pilote présentant un premier axe; un mécanisme de redirection de laser pilote un transférant le faisceau laser pilote de la première trajectoire à une seconde trajectoire, la seconde trajectoire présentant un second axe; un élément optique collecteur d'UV extrême présentant une ouverture centralement située; et un miroir de focalisation situé dans la seconde trajectoire et positionné à l'intérieur de l'ouverture, focalisant le faisceau laser pilote sur un site de lancement de plasma situé le long du second axe. L'appareil et la méthode peuvent comprendre un faisceau laser produit par un laser pilote présentant une longueur d'onde de sorte à effectuer une focalisation sur une gouttelette cible d'UV extrême inférieure à 100 &mgr;m environ, sur un plasma efficace produisant de l'énergie, si cela n'est pas pratique par rapport aux contraintes des géométries impliquées par l'utilisation d'une lentille focale. Le laser pilote peut comprendre un laser CO2. Le mécanisme de redirection de laser pilote peut comprendre un miroir.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
KR1020080024535EP1907804JP2009500796EP2488002