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1. (WO2007005340) BEAM DELIVERY SYSTEM FOR LASER DARK-FIELD ILLUMINATION IN A CATADIOPTRIC OPTICAL SYSTEM
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Pub. No.: WO/2007/005340 International Application No.: PCT/US2006/024609
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 22.06.2006
Chapter 2 Demand Filed: 16.08.2007
IPC:
G01N 21/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
Applicants:
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, CA 95035, US (AllExceptUS)
CHUANG, Yung-Ho [US/US]; US (UsOnly)
ARMSTRONG, J. Joseph [US/US]; US (UsOnly)
Inventors:
CHUANG, Yung-Ho; US
ARMSTRONG, J. Joseph; US
Agent:
SMYRSKI, Steven, W. ; SMYRSKI LAW GROUP, A PROFESSIONAL CORPORATION 3310 Airport Avenue, S.W. Santa Monica, CA 90405, US
Priority Data:
11/171,07930.06.2005US
Title (EN) BEAM DELIVERY SYSTEM FOR LASER DARK-FIELD ILLUMINATION IN A CATADIOPTRIC OPTICAL SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DISTRIBUTION DE FAISCEAU POUR ECLAIRAGE LASER EN FOND NOIR DANS UN SYSTEME OPTIQUE CATADIOPTRIQUE
Abstract:
(EN) A method and apparatus for inspecting a specimen are provided. The apparatus comprises a primary illumination source, a catadioptric objective exhibiting central obscuration that directs light energy received from the primary illumination source at a substantially normal angle toward the specimen, and an optical device, such as a prism or reflective surface, positioned within the central obscuration resulting from the catadioptric objective for receiving further illumination from a secondary illumination source and diverting the further illumination to the specimen. The method comprises illuminating a surface of the specimen at a variety of angles using a primary illumination source, illuminating the surface using a secondary illumination source, the illuminating by the secondary illumination source occurring at a substantially normal angle of incidence; and imaging all reflected, scattered, and diffracted lig
(FR) L'invention concerne un procédé et un appareil pour l'inspection d'un spécimen. L'appareil de l'invention comprend : une source d'éclairage primaire ; un objectif catadioptrique à obscurcissement central qui dirige l'énergie lumineuse reçue depuis la source d'éclairage primaire à un angle sensiblement perpendiculaire vers le spécimen ; et un dispositif optique, de type prisme ou surface de réflexion, positionné à l'intérieur de l'élément d'obscurcissement central produit par l'objectif catadioptrique pour recevoir un autre éclairage provenant d'une source d'éclairage secondaire et faire dévier l'autre éclairage vers le spécimen. Le procédé de l'invention consiste : à éclairer une surface du spécimen à divers angles au moyen d'une source d'éclairage primaire ; à éclairer la surface au moyen d'une source d'éclairage secondaire, l'éclairage émis par la source d'éclairage secondaire étant produit à un angle d'incidence sensiblement perpendiculaire ; et à imager toute énergie lumineuse réfléchie, diffusée et diffractée reçue depuis la surface sur un détecteur.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
EP1896829JP2008545165