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1. WO2007005196 - SCALABLE UNIFORM THERMAL PLATE

Publication Number WO/2007/005196
Publication Date 11.01.2007
International Application No. PCT/US2006/022449
International Filing Date 07.06.2006
IPC
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H01L 21/00 (2006.01)
CPC
G03F 7/707
G03F 7/70875
H01L 21/67109
Applicants
  • SOKUDO CO., LTD. [JP/JP]; K-I Shijo Building 88 KanKoboko-cho Shijodori-Muromachi-Higashiiru Shimogyo-ku Kyoto 600-8009, JP (AllExceptUS)
  • LUE, Brian, C. [US/US]; US (UsOnly)
Inventors
  • LUE, Brian, C.; US
Agents
  • TOBIN, Kent, J. ; Two Embarcadero Center, 8th Floor San Francisco, CA 94111-3834, US
Priority Data
11/402,56412.04.2006US
60/696,39201.07.2005US
Publication Language English (EN)
Filing Language English (EN)
Designated States
Title
(EN) SCALABLE UNIFORM THERMAL PLATE
(FR) PLAQUE THERMIQUE UNIFORME A VARIATION D'ECHELLE
Abstract
(EN)
Temperature of a processed workpiece may be regulated by flowing a thermal control fluid from a thermal source to a thermal drain, in a direction substantially normal to the plane occupied by the workpiece. This flow orientation ensures that any resulting temperature gradient in the thermal control fluid is also positioned substantially normal to the substrate, thereby avoiding processing variation in different areas of the workpiece attributable to an in-plane gradient. The thermal control fluid may be flowed from a common source to a plurality of pixel-like regions proximate to the workpiece, in order to ensure uniform temperature control. Use of such pixel-like regions promotes scalability of the temperature control apparatus.
(FR)
La température d'une pièce traitée peut être régulée par circulation d'un fluide de régulation thermique d'une source thermique à un drain thermique, dans une direction essentiellement perpendiculaire au plan occupé par la pièce. Cette orientation du flux garantit que tout gradient de température résultant dans le fluide de régulation thermique est également placé de manière pratiquement verticale par rapport au substrat, ce qui évite les variations de traitement dans différentes zones de la pièce, pouvant être attribuées à un gradient dans le plan. Le fluide de régulation thermique peut s'écouler d'une source commune vers une pluralité de régions de type pixels proches de la pièce, afin de garantir une régulation uniforme de la température. L'utilisation de ces zones de type pixels favorise la variation d'échelle de l'appareil de régulation de température.
Also published as
EP6772670
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