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1. (WO2007004665) OSCILLATORY WAVE DETECTING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/004665    International Application No.:    PCT/JP2006/313381
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 05.07.2006
IPC:
G01H 11/08 (2006.01), G01H 13/00 (2006.01), H04R 17/10 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
IKEUCHI, Naoki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: IKEUCHI, Naoki; (JP)
Agent: ITOH, Hidehiko; IMY INTERNATIONAL PATENT OFFICE, Kyowa Shimanouchi Bldg., 21-19, Shimanouchi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420082 (JP)
Priority Data:
2005-197798 06.07.2005 JP
Title (EN) OSCILLATORY WAVE DETECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DETECTION D’ONDE OSCILLATOIRE
(JA) 振動波検出装置
Abstract: front page image
(EN)A sensor main body (1) is coupled to a plate-shaped diaphragm (2) which oscillates with acoustic waves, and has a plurality of resonance beams (5) which resonate with specific frequencies, respectively. The sensor main body is supported by a supporting section (11), and a cap (12) is provided on the sensor main body (1) for acoustically separating one plane of the diaphragm (2) from the other plane. Thus, a differential pressure between an acoustic pressure applied on the one plane of the diaphragm (2) and that applied on the other plane is increased, and sensitivity is improved.
(FR)Corps principal de capteur (1) couplé à un diaphragme en forme de plaque (2) qui oscille avec des ondes acoustiques, et a une pluralité de faisceaux de résonance (5) qui résonnent avec des fréquences spécifiques, respectivement. Le corps principal de capteur est supporté par une section de support (11), et une coiffe (12) est disposée sur le corps principal de capteur (1) pour séparer acoustiquement un plan du diaphragme (2) de l'autre plan. Ainsi, une pression différentielle entre une pression acoustique appliquée sur un plan du diaphragme (2) et celle appliquée sur l'autre plan est augmentée, et la sensibilité est améliorée.
(JA) 音波に応じて振動する板状のダイヤフラム2に結合され、それぞれが異なる特定の周波数に共振する複数の共振ビーム5を有するセンサ本体1を支持部11で支持し、センサ本体1上にダイヤフラム2の一方面と他方面とを音響的に分離するためのキャップ2を備え、ダイヤフラム2の一方面に加わる音圧と他方面に加わる音圧との差圧を大きくして感度を向上させる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)