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Pub. No.:    WO/2007/004542    International Application No.:    PCT/JP2006/313070
Publication Date: 11.01.2007 International Filing Date: 30.06.2006
Chapter 2 Demand Filed:    27.04.2007    
F04D 19/04 (2006.01)
Applicants: BOC EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; Sanshikaikan, 9-4, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006 (JP) (For All Designated States Except US).
SAKAGUCHI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAKAADA, Tsutomu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SAKAGUCHI, Yoshiyuki; (JP).
TAKAADA, Tsutomu; (JP)
Agent: NAKANO, Hitoshi; B1 Umeya Bldg. 12-8, Nishishinjuku 8-chome Shinjuku-ku Tokyo 1600023 (JP)
Priority Data:
2005-193739 01.07.2005 JP
(JA) ターボ分子ポンプ
Abstract: front page image
(EN)A turbo molecular pump capable of properly suppressing the reverse flow of a gas passed through slits in a fixed vane without lowering discharging performance. The turbo molecular pump is so formed that, when the fixed vane (30) is held by spacer rings (31), the contact parts of the spacer rings (31) are not aligned with the outer slits (54a) of the fixed vane. Accordingly, the strength of the fixed vane (30) can be properly increased by suppressing the application of an excessive load on the fragile portion of an outer support part supporting fixed vane blades (53). Furthermore, the pump is so formed that, when the fixed vane (30) is held by the spacer rings (31), the seat faces of the spacer rings (31) are overlapped with the outer slits (54a). Thus, by forming the flange part (31b) of the spacer ring so as to be sufficiently extended inward from the outer slit (54a), the outer slit (54a) can be closed from the underside to properly suppress the reverse flow of the gas passed through the outer slits (54a).
(FR)Pompe turbomoléculaire permettant de supprimer correctement l’inversion de débit d’un gaz passé au travers de fentes dans une palette fixe sans réduire les performances de refoulement. La pompe turbomoléculaire est formée de sorte que, quand la palette fixe (30) est tenue par des rondelles d’espacement (31), les pièces de contact des rondelles d’espacement (31) ne sont pas alignées avec les fentes externes (54a) de la palette fixe. La force de la palette fixe (30) peut donc être correctement accrue en supprimant l’application d’une charge excessive à la partie fragile d’une partie de support externe soutenant les lames de palettes fixes (53). En outre la pompe est formée de sorte que, quand la palette fixe (30) est tenue par les rondelles d’espacement (31), les faces de siège des rondelles d’espacement (31) chevauchent les fentes externes (54a). Ainsi, en façonnant la partie de bride (31b) de la rondelle d’espacement pour qu’elle soit suffisamment étendue vers l’intérieur depuis la fente externe (54a), la fente externe (54a) peut être fermée à partir du dessous pour une suppression correcte de l’inversion de débit du gaz passé par les fentes externes (54a).
(JA) 排気性能を低下させることなく、固定翼のスリットからの気体の逆流を適切に抑制することを目的とする。  固定翼30をスペーサリング31で挟持した際に、スペーサリング31の当接部と外側スリット54aとが重なり合わないように構成する。これにより、固定翼ブレード53を支持する外側支持部などの脆弱な部位に過剰な負荷が掛けられることを抑制することができ、適切に固定翼30の強度を向上させることができる。さらに、固定翼30をスペーサリング31で挟持した際に、スペーサリング31の座面と外側スリット54aとが重なり合うように構成する。このように、フランジ部31bを外側スリット54aよりも十分に内側へ張り出すように形成することにより、外側スリット54aを下方から塞ぐことができ、外側スリット54aを介して気体が逆流してしまうことを適切に抑制することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)