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1. WO2007004345 - PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ADHESION ENHANCER

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

請求の範囲

[1] (a)アルカリ可溶樹脂と、 (b) 2級の芳香族ァミノ基およびアルコキシル基を有するケ ィ素化合物と (c)光重合開始剤、光酸発生剤および光塩基発生剤から選ばれた少 なくとも 1つを含む感光性榭脂組成物。

[2] (b) 2級の芳香族ァミノ基およびアルコキシ基を有するケィ素化合物が一般式(1)〜(

3)で表される化合物力選ばれたものである請求項 1記載の感光性榭脂組成物。

[化 29]


1、 R12および R13はそれぞれ、炭素数 1以上 10以下の有機基、水酸基、 -トロ基、アミノ基およびカルボキシル基カゝら選ばれた基を表す。 R2、 R3、 R4、 R8、 R9 、 R10, R17、 R18および R19は、それぞれ、水素原子、炭素数 1〜6のアルキル基、アル ケニル基、フニル基および置換フニル基カゝら選ばれた基を表す。このうち R2と R4

、 R8と R1G、あるいは R17と R19は、それぞれ結合して脂肪族環状構造を形成していて も良い。

R5、 R6および、 R2°は、それぞれ、炭素数 1〜6のアルキル基、ァルケ-ル基、フエ-ル基、置換フエ-ル基および炭素数 1〜6のアルコキシ基力選ばれた基を表し、少 なくとも 1つは炭素数 1〜6のアルコキシ基である。 R14、 R15および R16は、それぞれ、 炭素数 1〜6のアルキル基、アルケニル基、フエニル基、置換フエ-ル基および炭素 数 1〜6のアルコキシ基力選ばれた基を表し、少なくとも 1つは炭素数 1〜6のアル コキシ基である。 Xは、炭素数 1〜10のアルキル基、アルキレン基、ニトロ基、水酸基 、アルコキシ基、カルボキシル基、炭素数 2〜 10のエステル基および炭素数 2〜 10 のアミド基力選ばれた基を表す。 Yは単結合、フエ-ル基および— CH 2 O—基から 選ばれた基を表す。 XXおよび YYは、それぞれ単結合または

[化 30]


から選ばれた基を表す。およびは、それぞれ水素、フッ素、炭素数 1〜10のァ ルキル基、炭素数 1〜10のフッ素化アルキル基および炭素数 1〜10のアルコキシ基 から選ばれた基を表す。 p、 q、 s、 uおよび vは、それぞれ 1〜4の整数、 mは 1〜3の 整数、 1は 0〜2の整数、 a、 b、 kおよび nは、それぞれ 0〜 10の整数、 d、 fおよび gは、 それぞれ 1〜4の整数、 tおよび hは、それぞれ 1〜100の整数を表す。 jは 1〜3の整 数を表している。

[3] さらにメチロール基またはアルコキシメチル基を有する熱架橋性ィ匕合物を含有する請 求項 1記載の感光性榭脂組成物。

[4] b) 2級の芳香族ァミノ基およびアルコキシ基を有するケィ素化合物が芳香族ァミンと エポキシシランとの付加体である請求項 1記載の感光性榭脂組成物。

[5] (a)アルカリ可溶樹脂がカルボキシル基、かつ Zまたはスルホン酸基を有する請求項

1記載の感光性榭脂組成物。

[6] 請求項 1〜7のいずれか〖こ記載の組成物を紫外線で露光後、アルカリ水溶液で現像 するパターンの形成方法。

[7] 一般式(1)〜(3)で表される化合物力も選ばれた少なくとも 1種を有する接着改良剤